センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

ピエゾ ステージ 2軸 ナノポジショナー (1-9)  PIEZOCONCEPT

PIEZOCONCEPT
 

LFHS2

LFHS2は2軸の超高速ナノポジショナーで、XとY最大75µmの移動範囲、66mm x 66mmの大きなアパーチャ、および両軸で2kHzを超える共振周波数。 必要に応じてZ軸(移動距離50µm)を提案することもできます(3軸モデルLFHS3を参照)。 このピエゾステージは、粗い位置決めのMicrostageで提案できます(ハイブリッドシステムを参照)。

このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です(ハイパワーコントローラもあります)。 ハイパワーコントローラと組み合わせて使用すると、高速スキャンと2ms未満のステップ応答時間が可能です。

特徴
・超高速
・ダイレクト ドライブ
・正方形 開口部 (66x66mm)
・XY可動 75μmまで
・クローズループ コントロール
・シリコン センサー コントロール
・ノイズフロア 10pm以下

応用
超解像顕微鏡
・高速XYスキャン
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・光ピンセット

仕様
 

Specifications :

  Unit LFHS2.30 LFHS2.50 LFHS2.75    
Range of motion XY (µm) 30 50 75    
Resolution (nm) 0,030 0,050 0,075    
Typical noise floor (nm) 0,0030 0,0050 0,0075    
Full range repeatability (nm) 0,06 0,1 0,15    
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%    
Resonant frequency (Hz) 3000/2000 3000/2000 3000/2000    
Stiffness (N/µm) 4/3 4/3 4/3    
Maximum load* :            
 – horizontal use (kg) 1 1 1    
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5    
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor    
Size W x L x H (mm) 120,8 x 120,7 x 28,5 120,8 x 120,7 x 28,5 120,8 x 120,7 x 28,5    
Material   Al Al Al    
Cable length (m) 2 2 2    
Controller   High Speed High Speed High Speed    

*Higher load on request


使用例


 

LTHS2


LTHS2は、X軸とY軸最大75µmの動作範囲を持つ2軸ステージです。非常に薄型(20mm)であるため、このナノポジショナはほとんどの場合、粗い位置決めとともに倒立顕微鏡に簡単に組み込めます。 (ハイブリッドシステム参照)

このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です(ハイパワーコントローラもあります)。 ハイパワーコントローラと組み合わせて使用すると、高速スキャンと2ms未満のステップ応答時間が可能です。 


特徴
・超高速
・ダイレクトドライブ
・長方形開口 (83mm x 66mm)
・XY可動距離 75μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・超解像顕微鏡
・高速XYスキャン
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・光ピンセット


仕様
 

Specifications :

  Unit LTHS2.30 LTHS2.50 LTHS2.75    
Range of motion XY (µm) 30 50 75    
Resolution (nm) 0,03 0,05 0,075    
Typical noise floor (nm) 0,003 0,005 0,0075    
Full range repeatability (nm) 0,06 0,1 0,15    
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%    
Resonant frequency (Hz) 1500/1000 1500/1000 1500/1000    
Stiffness (N/µm) 2/2 2/2 2/2    
Maximum load* :            
 – horizontal use (kg) 0,5 0,5 0,5    
 – vertical use (kg) 0,3 0,3 0,3    
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor    
Size W x L x H (mm) 152,5 x 190 x 18,5 152,5 x 190 x 18,5 152,5 x 190 x 18,5    
Material   Al Al Al    
Cable length (m) 2 2 2    
Controller   Standard or High Speed Standard or High Speed Standard or High Speed    

*Higher load on request


 

C2.100


C2.100は、XとY100μmの動作を提供する2軸のコンパクトなナノポジショナーです。そのコンパクトなデザインは、2Dスキャニング、2光子重合、レーザーライティングなどの用途に理想的なツールです。


特徴
・コンパクト設計
・XY可動距離 100μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・アライメント
・レーザー書き込み
・2光子 重合
共焦点顕微鏡
・3Dプリンター

仕様
 

Specifications :

  Unit   C2.100  
Range of motion (µm)   100  
Resolution (nm)   0,1  
Typical noise floor (nm)   0,01  
Full range repeatability (nm)   0,2  
Linearization (typical)     0,02%  
Resonant frequency (Hz)   400/250  
Stiffness (N/µm)   0,3/0,3  
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg)   0,5  
 – vertical use (kg)   0,1  
Sensor     Silicon HR sensor  
Size W x L x H (mm)   48,5 x 48,5 x 30,3  
Material     Al – Stainless Steel  
Cable length (m)   2  
Controller     Standard  

*Higher load on request




 

LFS2


LFS2は2軸ナノポジショナーで、40 x 40 mmの開口部 XとY100µmの移動距離。

このピエゾステージは、粗い位置決めMicrostageを提案できます。

必要に応じて、高速20µm Z軸を使用することもできます(3軸モデルLFS3を参照)。


特徴
・正方形開口 (40mm x 40mm)
・XY可動距離 100μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm 以下

応用
超解像顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・Bruker AFMのアップグレード
 

仕様

Specifications :

 

  Specifications  
     
  LFS2 Unit
Range of motion 100 µm
Resolution 0,1 nm
Typical noise floor 0,01 nm
Full range repeatability 0,2 nm
Linearization (typical) 0,02%  
Resonant frequency X / Y 400 / 300 Hz
Stiffness X / Y 0,5 / 0,5 N/µm
Maximum Load* :    
- horizontal use 1 kg
- vertical use 0,5 kg
Sensor Silicon HR sensor  
Size W x L x H 100 x 100 x 30,2 mm
Material Al  
Cable length** 2 m
Controller Standard  

 

*Higher load on request


 

LT2


LT2は2軸ステージ(X、Y)で、各軸の移動範囲は100μm、200μm、または300μmです。 このナノポジショナーは、非常に薄型(15,5 mm)であるため、倒立顕微鏡への組み込みが簡単で、粗い位置決めステージを使用出来ます(ハイブリッドシステムを参照)。

標準では、LT 2はアルミニウム製ですが、Bruker AFMのアップグレードには、熱安定性の高いLT 2.100(100µmバージョン)をインバーで提案できます。


特徴
・ロープロファイル
・正方形 開口 (66mm x 66mm)
・可動距離 100μm 200μm または300μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・Bruker AFMのアップグレード


仕様
 

Specifications :

  Unit LT2.100 LT2.200 LT2.300
Range of motion (µm) 100 200 300
Resolution (nm) 0,1 0,2 0,3
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02 0,03
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4 0,6
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency (Hz) 500/400 400/350 300/250
Stiffness (N/µm) 0,6/0,5 0,5/0,4 0,4/0,3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 155.5 x 152.5 x 15.5 155.5 x 152.5 x 15.5 155.5 x 152.5 x 15.5
Material   Al or Invar Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request


 

BIO2


BIO2は、あらゆる種類の倒立顕微鏡に組み込みするように設計された2軸超薄型ナノポジショナーです。 顕微鏡スライドは、その長方形の開口部の内側に収容することができます。 このナノポジショナーは、非常に薄型(15,5 mm)であるため、倒立顕微鏡への組み込みが簡単で、粗い位置決めステージを使用して提案することができます(ハイブリッドシステムを参照)。

標準として、BIO 2はアルミニウム製ですが、Bruker AFMアップグレード用に、インバーでBIO2.100(100µmバージョン)を提案できます。これにより、より高い熱安定性が得られます。


特徴
・ロープロファイル
・長方形 開口 (54mm x 83.6mm)
・可動距離 100μm 200μm または300μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・ruker AFMのアップグレード


仕様
 

Specifications :

  Unit BIO2.100 BIO2.200 BIO2.300
Range of motion (µm) 100 200 300
Resolution (nm) 0,1 0,2 0,3
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02 0,03
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4 0,6
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency (Hz) 500/400 400/350 300/250
Stiffness (N/µm) 0,6/0,5 0,5/0,4 0,4/0,3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 206.5 x 152.5 x 15.6 206.5 x 152.5 x 15.6 206.5 x 152.5 x 15.6
Material   Al or Invar Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request


 

LF 2


  LF2は、66mm x 66mmの正方形の開口部を持ち、各軸の移動範囲が100μm、200μm、または300μmの2軸ピエゾステージです。 小さな設置面積と開口部が必要な場合にお勧めします。 必要に応じて、Z軸50µm可動範囲にすることが出来ます(3軸モデルLF3を参照)。

このピエゾステージは、粗い位置決めのMicrostageを組み合わせが出来ます(ハイブリッドシステムを参照)。




特徴
・正方形開口 (66mm x 66mm)
・可動距離 100μm 200μm または300mikuronn 
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡


仕様
 

Specifications :

  Unit LF2.100 LF2.200  LF2.300 
Range of motion (µm) 100 200 300
Resolution (nm) 0,1 0,2 0,3
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02 0,03
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4 0,6
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency (Hz) 500/300 400/250 300/200
Stiffness (N/µm) 0,6/0,35 0,5/0,30 0,4/0,25
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 121 x 121 x 30,2 121 x 121 x 30,2 121 x 121 x 30,2
Material   Al Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request


 

MWP2.800


MWP2.800は、最大800µm x 800µmの大面積の高速スキャン用に設計されたXYピエゾステージです。 SBS標準127.5 x 85 mm(5インチx 3 1/3インチ)のフットプリントを持つマルチウェル マイクロプレート(96ウェルマイクロプレートなど)を直接受け入れる128.5 mm x 86.5 mmの開口部を提供します。

オプションとして、ユニバーサルサンプルホルダー、ロータリースライドホルダー、またはペトリ皿ホルダーを用意することができます。


特徴
・ロープロファイル
・大きな開口
・可動距離 最大800μm
・クロース ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロアー 80pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡

仕様

Specifications

 

 

 

 

 

MWP2.800

Unit

Range of motion X Y

800

µm

Resolution X Y

0,8

nm

Typical noise floor X Y

0,08

nm

Full range repeatability X Y

1,6

nm

Linearization X Y (typical)

0,02%

 

Resonant frequency X / Y

185 / 115

Hz

Stiffness X / Y

0,4 / 0,4

N/µm

Maximum Load* :

 

 

- horizontal use

1

kg

- vertical use

0,5

kg

Sensor

Silicon HR sensor

 

Size W x L x H

243,5 x 203 x 20

mm

Material

Al

 

Cable length**

2

m

Controller

Standard

 

 

*Higher load on request
**Higher length on request


 

TT2.5 2軸 (Theta, Phi) 


TT 2は、(各軸に対して)5mradまたは10mradの移動範囲を有する2軸ステージ(Theta, Phi)。 TT2は、光ビームステアリングに必要な用途に理想的なツールです。 この高速ステージは、粒子トラッキング、光ピンセット、ビーム安定化、走査型顕微鏡などの用途に最適です。

このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です(ハイパワーコントローラもあります)。 ハイパワーコントローラと併用すると、500Hzの高速スキャンと2ms未満のステップ応答時間が可能です。


特徴
・ウルトラ ハイ スピード
・1インチ ミラー マウント
・5mrad Θ,Φの動き
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 1nrad. 以下

応用
・ビーム安定化
・粒子トラッキング
・高速ビームステアリング
・共焦点顕微鏡
・光ピンセット
TERS

仕様

 

Specifications :

  Unit TT2.5 TT2.10   
Range of motion (mrad) 5  10  
Resolution (µrad) 0,005  0,01  
Typical noise floor (µrad) 0,0005  0,001  
Full range repeatability (µrad) 0,01  0,02  
Linearization (typical)   0,02%  0,02%  
Resonant frequency (Hz) 4000/2000 2200/1200  
Stiffness (N/µm) N/A  N/A  
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 0,2 0,2   
 – vertical use (kg) 0,2 0,2   
Sensor   Silicon HR sensor  Silicon HR sensor  
Size W x L x H (mm) 51 x 64,35 x 43,2  51 x 64,35 x 43,2  
Material   Al  Al  
Cable length (m) 2  2  
Controller   Standard or High Speed Standard or High Speed   

*Higher load on request





使用例: 光ピンセット実験










 

オプティカニクス総合取扱製品

Topに戻る