センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

ピエゾ ステージ 3軸 ナノポジショナー  (1-10)  PIEZOCONCEPT

PIEZOCONCEPT
 

LT3


LT 3は、あらゆる種類の倒立顕微鏡に組み込まれるように設計された3軸超薄型ナノポジショナーです。 このピエゾステージは、粗い位置決めのハイブリッドシステムを参照。

標準として、LT3はアルミニウムで作られていますが、ブルカーAFMアップグレードのために、より高い熱安定性をもたらすインバーのLT3.100(100μmバージョン)があります。

特徴
・ロープロファイル
・正方形 開口 (66mm x 66mm)
・可動距離 100μm 200μm または300μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・Bruker AFMのアップグレード

仕様

 

Specifications :

  Unit LT3.100 LT3.200 LT3.300
Range of motion (µm) 100 200 300
Resolution (nm) 0,1 0,2 0,3
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02 0,03
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4 0,6
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency (Hz) 500/400/400 400/350/300 300/250/250
Stiffness (N/µm) 0,6/0,5/0,5 0,5/0,4/0,4 0,4/0,3/0,3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 152,5 x 193 x 20,7 152,5 x 193 x 20,7 152,5 x 193 x 20,7
Material   Al or Invar Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request

 

バイオ3

BIO3は、あらゆる種類の倒立顕微鏡に組み込むように設計された3軸超薄型ナノポジショナーです。 顕微鏡スライドは、その長方形の開口部の内側に収容することができます。 このピエゾステージは、粗い位置決めのMicrostageと使えます(ハイブリッドシステムを参照)。

標準として、BIO3はアルミニウムで作られています。ブルカーAFMアップグレードのために、より高い熱安定性のインバーのBIO3.100(100μmバージョン)があります。


特徴
・ロープロファイル
・長方形 開口 (54mm x 83,6mm)
・可動距離 100μm 200μm または300μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・Bruker AFMのアップグレード

仕様

 

Specifications :

  Unit BIO3.100 BIO3.200 BIO3.300
Range of motion (µm) 100 200 300
Resolution (nm) 0,1 0,2 0,3
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02 0,03
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4 0,6
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency (Hz) 500/400/400 400/350/300 300/250/250
Stiffness (N/µm) 0,6/0,5/0,5 0,5/0,4/0,4 0,4/0,3/0,3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 152,5 x 213 x 20,45 152,5 x 213 x 20,45 152,5 x 213 x 20,45
Material   Al or Invar Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request

 

LF 3


LF3は3軸ナノポジショナーで、XとYに沿って100、200、または300 µmの移動、Zに沿って50 µmの移動、および66 x 66 mmの大きなアパーチャ。 このピエゾステージは、粗い位置決めMicrostageを使用出来ます(ハイブリッドシステムを参照)。

特徴
・正方形 開口 (66mm x 66mm)
・100μm 200μm または300μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・Bruker AFM のアップグレード

仕様

 

Specifications :

  Unit LF3.100  LF3.200 LF3.300 
Range of motion XY/Z (µm) 100 / 50 200 / 50 300 / 50
Resolution XY/Z (nm) 0,1 / 0,05 0,2 / 0,05 0,3 / 0,05
Typical noise floor XY/Z (nm) 0,01 / 0,005 0,02 / 0,005 0,03 / 0,005
Full range repeatability XY/Z (nm) 0,2 / 0,1 0,4 / 0,1 0,6 / 0,1
Linearization (typical)   0,02% 0,02% 0,02%
Resonant frequency X/Y/Z (Hz) 500/350/1500 400/300/1500 300/200/1500
Stiffness XY/Z (N/µm) 0,6/0,5/3 0,5/0,4/3 0,4/0,3/3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 1 1 1
 – vertical use (kg) 0,5 0,5 0,5
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm) 140 x 121 x 35,2 140 x 121 x 35,2 140 x 121 x 35,2
Material   Al Al Al
Cable length (m) 2 2 2
Controller   Standard Standard Standard

*Higher load on request

 

LFS3


LFS3は3軸ナノポジショナーで、XとYに沿って100µmの移動量、Zに沿って20µmの移動量、そして40 x 40mmの開口部。 このピエゾステージは、粗い位置決めMicrostageと組み合わせができます。

特徴
・正方形 開口 (40mm x 40mm)
・X Y 可動 100μm  Z 高速可動 20μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
Bruker AFM アップグレード

仕様

 

Specifications :

  Specifications  
     
  LFS3 Unit
Range of motion X Y 100 µm
Range of motion Z 20 µm
Resolution X Y 0,1 nm
Resolution Z 0,02 nm
Typical noise floor X Y 0,01 nm
Typical noise floor Z 0,002 nm
Full range repeatability X Y 0,2 nm
Full range repeatability Z 0,04 nm
Linearization X Y Z (typical) 0,02%  
Resonant frequency X / Y / Z 350 / 250 / 2 700 Hz
Stiffness X / Y / Z 0,5 / 0,5 / 3 N/µm
Maximum Load* :    
- horizontal use 1 kg
- vertical use 0,5 kg
Sensor Silicon HR sensor  
Size W x L x H 100 x 100 x 50 mm
Material Al  
Cable length** 2 m
Controller Standard
 

LFHS3


LFHS3は3軸の超高速ナノポジショナーで、XとYに沿って最大75μmの移動、Zに沿って最大50μmの移動、66 x 66 mmの大口径、各軸で1.5kHz以上の共振周波数。 このピエゾステージは、粗い位置決めMicrostageを使用出来ます(ハイブリッドシステムを参照)。

このナノポジショナーは、高速製品ラインの一部です(ハイパワーコントローラがあります)。 2 ms未満の高速スキャンとステップ応答時間が可能です。


特徴
・ウルトラ ハイ スピード
・ダイレクト ドライブ
・正方形 開口 (66mm x 66mm)
・X Y  75μm  X  50μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・高速XYスキャニング
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・光ピンセット

仕様

 

XY Specifications

 

 

LFHS3.30.xx

LFHS3.50.xx

LFHS3.75.xx

Unit

Range of motion X Y

30

50

75

µm

Resolution X Y

0,03

0,05

0,075

nm

Typical noise floor X Y

0,003

0,005

0,0075

nm

Full range repeatability X Y

0,06

0,1

0,15

nm

Linearization X Y (typical)

0,02%

0,02%

0,02%

 

Resonant frequency X / Y

 

3000 / 2000

 

Hz

Stiffness X / Y

 

4 / 3

 

N/µm

Size W x L x H

 

140 x 121 x 33,6

 

mm

 

 

 

Z Specifications

 

 

LFHS3.XX.25

LFHS3.XX.50

Unit

Range of motion Z

25

50

µm

Resolution Z

0,025

0,05

nm

Typical noise floor Z

0,0025

0,005

nm

Full range repeatability Z

0,05

0,1

nm

Linearization Z (typical)

0,02%

0,02%

 

Resonant frequency Z

1500

Hz

Stiffness Z

3

N/µm

Size W x L x H

140 x121 x 33,6

mm

 

 

 

General Specifications

 

 

 

 

 

LFHS3.XX.xx

Unit

Maximum load* :

 

 

- horizontal use

1

kg

- vertical use

0,5

kg

Sensor

Silicon HR sensor

 

Material

Al

 

Cable length**

2

m

Controller

High Speed

 

 

LFHS3.XX.xx :
XX : 30, 50 or 75 according to range of motion of X Y axis
xx : 25 or 50 according to range of motion of Z axis

*Higher load on request
**Higher length on request



 

LTHS3


LTHS3は3軸ステージ(X、Y、Z)で、XとYに沿って最大75µm、Zに沿って最大50µmの動作範囲を持ちます。非常に薄型(20mm)のため、このナノポジショナは簡単に統合できます。 ほとんどの場合、粗い位置に配置されたMicrostageと一緒に倒立顕微鏡に入れます(ハイブリッドシステムを参照)。

このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です(ハイパワーコントローラもあります)。


特徴
・ウルトラ ハイ スピード
・ダイレクト ドライブ
・正方形 開口 (66mm x 66mm)
・X Y  75μm   Z  50μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・超解像度顕微鏡
・高速XYスキャニング
・粒子トラッキング
・共焦点顕微鏡
・原子間力顕微鏡
・光ピンセット

仕様

 

Specifications :

  Unit   LTHS3   
Range of motion X/Y/Z (µm) 75 75  50
Resolution X/Y/Z (nm) 0,075  0,075 0,05
Typical noise floor X/Y/Z (nm) 0,0075  0,0075 0,005
Full range repeatability X/Y/Z (nm) 0,15 0,15  0,1
Linearization (typical)   0,02%  0,02% 0,02%
Resonant frequency X/Y/Z (Hz) 1500 1000 1500
Stiffness X/Y/Z (N/µm) 4 3
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg)   0,2
 – vertical use (kg)    0,1  
Sensor     Silicon HR sensor
Size W x L x H (mm)   190 x 152,5 x 22,3   
Material      Al  
Cable length (m)    2  
Controller      High Speed  

*Higher load on request



 

C3.100


C3.100は、コンパクト設計で移動距離100µmを提供するように特別に設計されています。 このステージは2軸バージョン(C2.100)でも利用可能ですが、X軸(CX.100)またはZ軸(CZ.100)のいずれかの1軸バージョンでも利用可能です。

その魅力的な価格および高性能のために、ファイバーアライメントおよびレーザーの書き込みに圧倒的な成功を収めました。

特徴
・コンパクト設計
・X Y Z 100μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下

応用
・アライメント
・レーザー書き込み
・2光子重合
・共焦点顕微鏡
・3Dプリンター

仕様

 

Specifications :

  Unit   C3.100  
Range of motion (µm)   100  
Resolution (nm)   0,1  
Typical noise floor (nm)   0,01  
Full range repeatability (nm)   0,2  
Linearization (typical)     0,02%  
Resonant frequency (Hz)   400/250/220  
Stiffness (N/µm)   0,3/0,3/0,6  
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg)   0,5  
 – vertical use (kg)   0,1  
Sensor     Silicon HR sensor  
Size W x L x H (mm)   48,5 x 48,5 x 48,7  
Material     Al – SS  
Cable length (m)   2  
Controller     Standard  

*Higher load on request



 

CUBE 3


CUBE 3は3軸のコンパクトなナノポジショナーで、X、Y、Zに沿って100または200μmの動きをします。そのコンパクトなデザインは、光ファイバーアライメント、2光子重合、レーザー書き込みの用途に理想的なツールです。

特徴
・コンパクト設計
・X Y Z 100μm または200μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 30pm以下

応用
・アライメント
・レーザー書き込み
・2光子重合
・共焦点顕微鏡
・3Dプリンター

仕様

 

Specifications :

  Unit CUBE3.100 CUBE3.200  
Range of motion (µm) 100 200  
Resolution (nm) 0,1 0,2  
Typical noise floor (nm) 0,01 0,02  
Full range repeatability (nm) 0,2 0,4  
Linearization (typical)   0,02% 0,02%  
Resonant frequency (Hz) 200/200/500 200/200/500  
Stiffness (N/µm) 0,3/0,3/0,6 0,3/0,3/0,6  
Maximum load* :        
 – horizontal use (kg) 0,5 0,5  
 – vertical use (kg) 0,1 0,1  
Sensor   Silicon HR sensor Silicon HR sensor  
Size W x L x H (mm) 63,5 x 63,5 x 52,45 63,5 x 63,5 x 52,45  
Material   Al Al  
Cable length (m) 2 2  
Controller   Standard Standard  

*Higher load on request



 

SPM3


SPM3ステージは3軸超高速ナノポジショナーで、XとYに沿って最大75µmの移動範囲を持ち、共振周波数は両方の軸で2kHz以上です。

SPM3ステージのZ部分は最大50μmの移動範囲を持つことができ、最大12.5kHzの共振周波数を持つことができるため、最高速度の機能を提供します。 ハイパワーコントローラと一緒に使用すると、SPM3.5のZ軸のステップ応答時間は1ミリ秒より小さくなります。

SPMステージは、原子間力顕微鏡などの要求の厳しい計測用途向けに設計されています。
このピエゾステージは、粗い位置決めのMicrostageが使えます(ハイブリッドシステムを参照)。
このナノポジショナーは、高速製品です(ハイパワーコントローラがあります)。

特徴
・ウルトラ ハイ スピード
・3軸 ダイレクト ドライブ
・X Y   75μm  Z  50μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ピコメトリック ノイズ フロア


応用
・原子間力顕微鏡
・走査プローブ顕微鏡 
・高速高分解能XYZポジショニング


仕様
 

Specifications :

  XY Specifications  
  SPM3.30.xx SPM3.50.xx SPM3.75.xx Unit
Range of motion X Y 30 50 75 µm
Resolution X Y 0,03 0,05 0,075 nm
Typical noise floor X Y 0,003 0,006 0,0075 nm
Full range repeatability X Y 0,06 0,1 0,15 nm
Linearization X Y (typical) 0,02% 0,02% 0,02%  
Resonant frequency X / Y   3000 / 2000   Hz
Stiffness X / Y   4 / 3   N/µm
Size W x L x H   121 x 121 x (depend of Z axis range of motion)   mm
  Z Specifications  
  SPM3.XX.05 SPM3.XX.10 SPM3.XX.25 SPM3.XX.50 Unit
Range of motion Z 5 10 25 50 µm
Resolution Z 0,005 0,01 0,025 0,05 nm
Typical noise floor Z 0,0005 0,001 0,0025 0,005 nm
Full range repeatability Z 0,01 0,02 0,05 0,1 nm
Linearization Z (typical) 0,02% 0,02% 0,02% 0,02%  
Resonant frequency Z 12 500 5 500 5 500 3 500 Hz
Stiffness Z 40 7,5 7,5 2,7 N/µm
Size W x L x H 121 x 121 x 33,7 121 x 121 x 33,7 121 x 121 x 49,7 121 x 121 x 69,7 mm
  General Specifications  
     
  SPM3.XX.xx Unit
Maximum load* :    
- horizontal use 0,1 kg
- vertical use (max torque) 0,01 N.m
Sensor Silicon HR sensor  
Material Al  
Cable length** 2 m
Controller High Speed  

SPM3.XX.xx :
XX : 30, 50 or 75 according to range of motion of X Y axis
xx : 5, 10, 25 or 50 according to range of motion of Z axis

*Higher load on request
**Higher length on request




 

SPM3LR


SPM3LRステージは3軸ナノポジショナーで、移動範囲はXとYに沿って100µm、200µm、または300µm

SPM3LRステージのZ部分は最大50µmの移動範囲を持つことができ、最大12.5kHzの共振周波数を持つことができるため、最高速度の機能を提供します。 SPM3LR.xxx.05のZ軸のステップ応答時間は1ミリ秒より小さくすることができます。

したがって、SPM3LRステージは、原子間力顕微鏡などの要求の厳しい計測アプリケーション向けに設計されています。
このピエゾステージは、粗い位置決めのMicrostageがあります(ハイブリッドシステムを参照)。

特徴
・Z軸ウルトラ ハイスピード
・3軸ダイレクト ドライブ
・X Y 100μm 200μm 300μm
・Z 5μm 10μm 25μm 50μm
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー コントロール
・ピコメトリック ノイズ フロア

応用
・原子間力顕微鏡
・走査プローブ顕微鏡
・高速高分解能XYZポジショニング

仕様

 

Specifications :

 

  XY Specifications  
  SPM3LR.100.xx SPM3LR.200.xx SPM3LR.300.xx Unit
Range of motion X Y 100 200 300 µm
Resolution X Y 0,1 0,2 0,3 nm
Typical noise floor X Y 0,01 0,02 0,03 nm
Full range repeatability X Y 0,2 0,4 0,6 nm
Linearization X Y (typical) 0,02% 0,02% 0,02%  
Resonant frequency X / Y 500 / 300 350 / 200 250 / 150 Hz
Stiffness X / Y 0,6 / 0,35 0,5 / 0,3 0,4 / 0,25 N/µm
Size W x L x H   121 x 121 x (depend of Z axis range of motion)   mm

 

 

  Z Specifications  
  SPM3LR.xxx.05 SPM3LR.xxx.10 SPM3LR.xxx.25 SPM3LR.xxx.50 Unit
Range of motion Z 5 10 25 50 µm
Resolution Z 0,005 0,01 0,025 0,05 nm
Typical noise floor Z 0,0005 0,001 0,0025 0,005 nm
Full range repeatability Z 0,01 0,02 0,05 0,1 nm
Linearization Z (typical) 0,02% 0,02% 0,02% 0,02%  
Resonant frequency Z 12 500 5 500 5 500 3 500 Hz
Stiffness Z 40 7,5 7,5 2,7 N/µm
Size W x L x H 121 x 121 x 33,7 121 x 121 x 33,7 121 x 121 x 49,7 121 x 121 x 69,7 mm

 

 

  General Specifications  
     
  SPM3LR.xxx.xx Unit
Maximum load* :    
- horizontal use 0,1 kg
- vertical use (max torque) 0,01 N.m
Sensor Silicon HR sensor  
Material Al  
Cable length** 2 m
Controller High Speed  

 

SPM-3LR.xxx.xx :
xxx : 100, 200 or 300 according to range of motion of X Y axis
xx : 05, 10, 25 or 50 according to range of motion of Z axis

*Higher load on request
**Higher length on request








 

オプティカニクス総合取扱製品

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