センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

1軸 (x軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ  nPoint, Inc.

nPoint
 

NPX25-105 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 1軸(X軸) 25μm


コンパクト超高速ナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715105

サイズ

62 mm W x 40 mm D x 18.5 mm H

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

120g

ナノモーション制御

X

閉ループ旅行

25μm

開ループ移動量(-30〜150 V)

40μm

位置ノイズ

0.1nm

剛性

23.0N / µm

共振周波数

4000Hz

セット時間

2ms

直線性偏差

0.01%

キャパシタンス

1.7μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.400

図面

 

NPX60-223  ナノポジショニング ピエゾ ステージ 1軸(X軸) 60μm


サブnmの分解能を持つ小型高速ナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715223

サイズ

70 mm W x 60 mm D x 25 mm H

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

230g

ナノモーション制御

X

クローズループ移動

60μm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

90μm

位置ノイズ

0.2nm

剛性

3.7N / µm

共振周波数

1200Hz

セット時間

4ms

直線性偏差

0.01%

キャパシタンス

2μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.400

図面



 

NPX100  ナノポジショニング ピエゾ ステージ 1軸(X軸) 100μm


100μmレンジ、サブnm分解能の小型ナノポジショニング   ピエゾステージ。それはnPX製品ラインの一部です

品番

3715248

サイズ

40×W×40×D×15 mm H

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

120g

ナノモーション制御

X

クローズループ旅行

100μm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

130μm

位置ノイズ

0.3nm

剛性

0.8N / µm

共振周波数

1000Hz

セット時間

3ms

直線性偏差

0.01%

キャパシタンス

1.6μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.400

図面



 

NPX300  ナノポジショニング ピエゾ ステージ 1軸(X軸) 300μm



300μm、サブnm分解能の小型ナノポジショニング ピエゾステージ

 

品番

3715256

サイズ

50mm W×50mm D×15mm H

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

180g

ナノモーション制御

X

クローズループ旅行

300μm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

360μm

位置ノイズ

1nm

剛性

0.3N / µm

共振周波数

440Hz

セット時間

10ms

直線性偏差

0.01%

キャパシタンス

2.6μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.400

図面


 

NPX600  ナノポジショニング ピエゾ ステージ 1軸(X軸) 600μm


600μm 小型ナノ位置決めピエゾステージ

品番

3715261

サイズ

60 mm W x 60 mm D x 15 mm H

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

230g

ナノモーション制御

X

クローズループ旅行

600μm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

700μm

位置ノイズ

2nm

剛性

0.1N / µm

共振周波数

310Hz

セット時間

25ミリ秒

直線性偏差

0.01%

キャパシタンス

6.5μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.400

図面










 

オプティカニクス総合取扱製品

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