センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

2軸 (XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ  nPoint, Inc. 

nPoint
 

NPXY 40-467 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 40μm | 40μm

光学アライメント用に設計された小型軽量ステージ

 

品番

3715467

サイズ

25mm WX 25mm DX 12.5mm H

直径

NA

開口部サイズ

NA

素材

ステンレス鋼

最大荷重

100グラム

最大力(プッシュ/プル)

10N / 1.5N

ステージマス

25g

ナノモーション制御

XY

クローズループ移動

40µm | 40µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

50µm | 50µm

位置ノイズ

2nm | 2nm

剛性

1.4N / µm

共振周波数

735Hz | 840Hz

セット時間

4ms | 5ms

直線性偏差

0.1%| 0.1%

センサー

歪みゲージ

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 50-286 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 50μm | 50μm

高共振周波数とコンパクトな設計を備えたXYナノポジショニングピエゾステージは、精密な制御を必要とするスペースに制約のあるアプリケーションに簡単に統合できます。

 

品番

3715286

サイズ

60mm WX 60mm DX 25mm H

直径

NA

開口部サイズ

直径20 mm

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

380g

ナノモーション制御

XY

クローズループ旅行

50µm | 50µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

70µm | 70µm

位置ノイズ

0.2nm | 0.2nm

剛性

8.0N / µm | 8.0N / µm

共振周波数

1400Hz | 1400Hz

セット時間

4ms | 4ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

2.8μF|2.8μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 60-258 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 60μm | 60μm

非磁性UHV対応、XYナノ位置決めピエゾステージ 非常に速く正確で、設置面積が小さくて用途が広い

 

品番

3715258

サイズ

30mm HX 70mm

開口部サイズ

30mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

ナノモーション制御

XY

クローズループ移動

60µm | 60µm

位置ノイズ

0.4nm | 0.4nm

共振周波数

750Hz | 750Hz

セット時間

5ms | 5ms

直線性偏差

0.03%| 0.03%

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 90-498 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 90μm | 90μm

アライメントツールでの高速スキャン用に開発されたXY ナノポジショニング ピエゾステージ

 

品番

3715498

足跡

幅84mm×幅84mm×高さ18mm

開口部サイズ

27 mm

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 70N

ステージマス

520g

ナノモーション制御

XY

閉ループ旅行

90µm | 90µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

120µm | 120µm

位置ノイズ

0.5nm | 0.5nm

剛性

2.3N / µm | 2.3N / µm

共鳴周波数

900Hz | 900Hz

整定時間

4ms | 4ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

4.3μF|4.3μF

統合センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 100-100 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 100μm | 100μm

計測用途向けに開発された超精密XYナノポジショニング ピエゾステージ

 

品番

3715100

足跡

幅100mm×高さ100mm×高さ23mm

直径

NA

開口部サイズ

40mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

460g

ナノモーション制御

XY

閉ループ旅行

100µm | 100µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

160µm | 160µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm

剛性

1.2N / µm | 1.2N / µm

共鳴周波数

700Hz | 700Hz

整定時間

6ms | 6ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

2.4μF|2.4μF

統合センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 100-126 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 100μm | 100μm

顕微鏡用途向けに開発された薄型、大口径XYナノ位置決めピエゾステージ

 

品番

3715126

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ17mm

直径

NA

開口部サイズ

68 mm W x 68 mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

550g

ナノモーション制御

XY

閉ループ旅行

100µm | 100µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

160µm | 160µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm

剛性

3.3N / µm | 3.3N / µm

共振周波数

850Hz | 850Hz

セット時間

5ms | 5ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

4.8μF|4.8μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 200-401 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 200μm | 200μm

顕微鏡応用のために開発された薄型、高速、大口径XYナノ位置決めピエゾステージ

 

品番

3715401

足跡

幅140mm×幅140mm×高さ17mm

直径

NA

開口部サイズ

68 mm W x 68 mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

570g

ナノモーション制御

XY

閉ループ旅行

200µm | 200µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

250µm | 250µm

位置ノイズ

0.7nm | 0.7nm

剛性

2.1N / µm | 2.1N / µm

共鳴周波数

700Hz | 700Hz

整定時間

8ms | 8ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF

統合センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 200-101 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 200μm | 200μm

計測用途向けに開発された超精密XYナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715101

サイズ

幅100mm×高さ100mm×高さ23mm

直径

NA

開口部サイズ

40mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

460g

ナノモーション制御

XY

クローズループ移動

200µm | 200µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

290µm | 290µm

位置ノイズ

0.5nm | 0.5nm

剛性

0.5N / µm | 0.5N / µm

共振周波数

400Hz | 400Hz

セット時間

15ms | 15ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

3.1μF|3.1μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面

 

NPXY 250-405 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 250μm | 250μm

柔軟で経済的なXYナノ位置決めピエゾステージ 標準アパーチャにより、さまざまな光学および顕微鏡用途に使用できます

 

品番

3715405

足跡

75 mm W x 75 mm D x 30 mm H

直径

NA

絞り

40mm

開口部サイズ

アルミ/ステンレス

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 10N

ステージマス

350g

ナノモーション制御

XY

閉ループ旅行

250µm | 250µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

340µm | 340µm

位置ノイズ

4nm | 4nm

剛性

0.5N / µm | 0.5N / µm

共鳴周波数

300Hz | 230Hz

整定時間

10ms | 15ms

直線性偏差

0.05%

キャパシタンス

3μF

統合センサー

歪みゲージ

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面
 

NPXY 300-291 2軸(XY軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ 300μm | 300μm

高速大口径300ミクロン XYナノ位置決め ピエゾステージ

 

品番

3715291

サイズ

179mm x 179mm x 23mm H

直径

NA

開口部サイズ

85mm×95mm

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

1560g

ナノモーション制御

XY

クローズループ旅行

300µm | 300µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

360µm | 360µm

位置ノイズ

1nm | 1nm

剛性

0.7N / µm | 0.7N / µm

共振周波数

240Hz | 240Hz

セット時間

20ミリ秒| 20ミリ秒

直線性偏差

0.01%| 0.01%

キャパシタンス

8.2μF|8.2μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.402

図面



 

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