センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

3軸 (XYZ軸) ナノポジショニング ピエゾ ステージ  nPoint, Inc.

nPoint
 

nPCube ナノポジショニング ピエゾ ステージ 3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 100μm

100μmレンジの小型XYZ ナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715464

サイズ

40×W×40×D×47 mm H

素材

アルミ/ SS

最大荷重

1.5kg

最大力(プッシュ/プル)

15N

ステージマス

160g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 100µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

140µm | 140µm | 140µm

位置ノイズ

3nm | 3nm | 3nm

剛性

0.6N / µm | 0.6N / µm | 0.6N / µm

共振周波数

280Hz | 430Hz | 280Hz

セット時間

20ms | 20ms | 20ms

直線性偏差

0.05%| 0.05%| 0.05%

キャパシタンス

1.5μF|1.5μF|1.5μF

センサー

歪みゲージ

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY50Z2020-4 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 3軸 (XYZ軸)  50μm | 50μm | 20μm

高共振周波数とコンパクト設計を備えたXYZナノポジショニングピエゾステージで、精密な制御が必要なスペースに制約のあるアプリケーションに簡単に使用できます。AFMなどのスキャンアプリケーション用に設計されています。

 

品番

3715477

サイズ

60 mm W x 60 mm D x 31 mm H

素材

ステンレス鋼

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 10N

ステージマス

365g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

50µm | 50µm | 20µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

65µm | 65µm | 35µm

位置ノイズ

0.2nm | 0.2nm | 0.1nm

剛性

3N / µm | 3N / µm | 14N / µm

共振周波数

1200Hz | 1200Hz | 2000Hz

セット時間

4ms | 4ms | 2ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.1%

キャパシタンス

2.8μF|2.8μF|1.6μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY60Z20-25 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 3軸 (XYZ軸)  60μm | 60μm | 20μm

非磁性、UHV対応、XYZナノ位置決めピエゾステージ。非常に速く正確で、設置面積が小さくて用途が広い

 

品番

3715257

サイズ

30mm HX 70mm

開口部サイズ

20 mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

60µm | 60µm | 20µm

位置ノイズ

0.4 nm | 0.4 nm | 0.2 nm

共鳴周波数

750Hz | 750Hz | 2000Hz

セット時間

5ms | 5ms | 2ms

直線性偏差

0.03%| 0.03%| 0.05%

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY100Z25-102 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 
3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 25μm

計測用途向けに開発された超精密XYZ ナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715102

サイズ

100mm W×100mm D×35mm H

直径

NA

開口部サイズ

38mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 10N

ステージマス

560g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 25µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

130µm | 130µm | 35µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm | 0.1nm

剛性

1.3N / µm | 1.3N / µm | 15.5N / µm

共振周波数

500Hz | 500Hz | 1600Hz

セット時間

8ms | 8ms | 3ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.04%

キャパシタンス

4.8μF|4.8μF|3.1μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY200Z25-103 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 25μm

計測用途向けに開発された超精密XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715103

サイズ

100mm W×100mm D×35mm H

直径

NA

開口部サイズ

38mm

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

560g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

200µm | 200µm | 25µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

270µm | 270µm | 35µm

位置ノイズ

0.5nm | 0.5nm | 0.1nm

剛性

0.5N / µm | 0.5N / µm | 13.1N / µm

共振周波数

350Hz | 350Hz | 1600Hz

セット時間

15ms | 15ms | 2ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.04%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|3.1μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY100Z10-128 ナノポジショニング ピエゾ ステージ 
3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 10μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715128

足跡

幅140mm×幅140mm×高さ30mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

870g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 10µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

160µm | 160µm | 15µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm | 0.1nm

剛性

3.0N / µm | 3.0N / µm | 6.2N / µm

共振周波数

600Hz | 600Hz | 900Hz

セット時間

10ms | 10ms | 5ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.02%

キャパシタンス

4.8μF|4.8μF|1.0μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY100Z25-264 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 25μm 

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715264

足跡

幅140mm×幅140mm×高さ35mm

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

1kg

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 25µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm | 0.2nm

共鳴周波数

600Hz | 600Hz | 750Hz

整定時間

10ms | 10ms | 5ms

直線性偏差

0.02%| 0.02%| 0.02%

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY100Z50-244 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 50μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノ位置決めピエゾステージ

 

品番

3715244

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ38mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

1090g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 50µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

160µm | 160µm | 80µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm | 0.3nm

剛性

1.6N / µm | 1.6N / µm | 4.7N / µm

共振周波数

500Hz | 500Hz | 550Hz

セット時間

10ms | 10ms | 10ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.05%

キャパシタンス

4.8μF|4.8μF|4.8μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY100Z100-135 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  100μm | 100μm | 100μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715135

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ38mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

950g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

100µm | 100µm | 100µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

175µm | 175µm | 135µm

位置ノイズ

0.3nm | 0.3nm | 0.3nm

剛性

1.3N / µm | 1.3N / µm | 5.6N / µm

共振周波数

500Hz | 500Hz | 500Hz

セット時間

10ms | 10ms | 10ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.05%

キャパシタンス

4.8μF|4.8μF|5.5μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面


 

NPXY200Z10-269 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 10μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715269

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ30mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

960g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

200µm | 200µm | 10µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

240µm | 240µm | 15µm

位置ノイズ

0.7nm | 0.7nm | 0.1nm

剛性

2.8N / µm | 2.8N / µm | 2.8N / µm

共振周波数

400Hz | 450Hz | 900Hz

セット時間

15ms | 15ms | 5ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.02%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|1.0μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY200Z25-260 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 25μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715260

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ35mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

960g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

200µm | 200µm | 25µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

240µm | 240µm | 35µm

位置ノイズ

0.7nm | 0.7nm | 0.2nm

剛性

2.8N / µm | 2.8N / µm | 2.7N / µm

共振周波数

450Hz | 450Hz | 750Hz

セット時間

15ms | 15ms | 5ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.02%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|1.9μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY200Z50-270 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 50μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショナー ピエゾ ステージ

 

品番

3715270

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ38mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

1060g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

200µm | 200µm | 50µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

240µm | 240µm | 80µm

位置ノイズ

0.7nm | 0.7nm | 0.3nm

剛性

1.0N / µm | 1.8N / µm | 4.7N / µm

共振周波数

450Hz | 450Hz | 550Hz

セット時間

15ms | 15ms | 10ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.02%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|4.8μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

NPXY200Z100-271 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 100μm

走査型プローブおよび光学顕微鏡用に開発された大口径XYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

品番

3715271

サイズ

幅140mm×幅140mm×高さ38mm

直径

NA

開口部サイズ

68mm W x 68mm D

素材

アルミニウム

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

990g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

200µm | 200µm | 100µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

240µm | 240µm | 135µm

位置ノイズ

0.7nm | 0.7nm | 0.3nm

剛性

1.5N / µm | 2.0N / µm | 5.6N / µm

共振周波数

450Hz | 450Hz | 500Hz

セット時間

15ms | 15ms | 10ms

直線性偏差

0.01%| 0.01%| 0.02%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|5.5μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面



 

nPBio200 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  200μm | 200μm | 200μm

倒立顕微鏡との使用を容易にするために開発されたXYZナノポジショナー ピエゾ ステージ

 

品番

3715245-200

足跡

179mm W×179mm D×32mm H

直径

NA

絞り

幅85mm×幅88mm

素材

アルミ/ SS

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

1590g

ナノモーション制御

XYZ

閉ループ旅行

200µm | 200µm | 200µm

開ループ移動量(-30〜150 V)

300µm | 300µm | 300µm

位置ノイズ

1nm | 1nm | 1nm

剛性

1.4N / µm | 1.4N / µm | 1.3N / µm

共鳴周波数

250Hz | 250Hz | 250Hz

整定時間

15ms | 15ms | 15ms

直線性偏差

0.02%| 0.02%| 0.1%

キャパシタンス

7.5μF|7.5μF|5.0μF

統合センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面

 

nPBio300 ナノポジショニング ピエゾ ステージ
3軸 (XYZ軸)  300μm | 300μm | 300μm

倒立顕微鏡との統合を容易にするために開発されたXYZナノポジショニング ピエゾ ステージ

 

品番

3715245-300

サイズ

179mm W×179mm D×32mm H

直径

NA

開口部サイズ

幅85mm×幅88mm

素材

アルミ/ SS

最大荷重

5kg

最大力(プッシュ/プル)

100N / 20N

ステージマス

1590g

ナノモーション制御

XYZ

クローズループ移動

300µm | 300µm | 300µm

オープンループ移動量(-30〜150 V)

360µm | 360µm | 360µm

位置ノイズ

2nm | 2nm | 2nm

剛性

1.1N / µm | 1.1N / µm | 1.0N / µm

共振周波数

200Hz | 200Hz | 200Hz

セット時間

20ms | 20ms | 20ms

直線性偏差

0.02%| 0.02%| 0.1%

キャパシタンス

8.2μF|8.2μF|7.7μF

センサー

容量性

ケーブルの長さ

2メートル

コントローラ

LC.403

図面












 

オプティカニクス総合取扱製品

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