センサー・ガスセンサー・ナノ ポジショニング

真空対応 ピエゾ ナノポジショナー マイクロポジショナー MAD CITY LABS INC.

 
真空対応ナノポジショナー、マイクロポジショナー

Mad City Labs、Incは、さまざまなナノポジショナー、マイクロポジショナー、および機器ソリューションを提供しています。




ベーキングが不要な場合、ほぼすべての標準システムを真空アプリケーション用に10-8 Torrに変更できます。 多くのUHVアプリケーションには、カスタム設計ソリューションが必要です。 経験豊富なUHV計装の専門家がスタッフとともに、カスタムナノポジショニングソリューションを提供できます。
 

Product

Description

Axes

Applications

Nano-UHV50

XおよびYで50 µmの可動範囲を持つ超高真空(UHV)対応のピエゾナノポジショナーは、最高100°Cの温度でベーキング可能

2

X線、VUV、および光学顕微鏡、UHV AFM、ウェーハテスト

Nano-UHV100

XおよびYで100 µmの可動範囲を持つ超高真空(UHV)互換のピエゾナノポジショナーは、最高100°Cの温度でベーキング可能

2

X線、VUV、および光学顕微鏡、UHV AFM、ウェーハテスト

Nano-UHV200

X、Y、Zで200 µmの可動範囲を持つ超高真空(UHV)互換のサブナノメートル精度スキャナーは、最大100°Cの温度でベーキングできます。

3

X線、VUV、および光学顕微鏡、UHV AFM、ウェーハテスト

MadMotor®-UHV ピエゾ モーター ステージ

独自のMadMotor®ピエゾモーターテクノロジーを使用し、1軸あたり最大10mmの移動、高解像度、優れた再現性を備えた、高精度のピエゾモーター駆動のマイクロポジショニングシステム。

up to 3 

UHVでの精密アライメント、サンプルおよびプローブの位置決め、UHVサンプル転送


Nano-UHV50


特徴
UHV互換ピエゾナノポジショナー
2軸(XY)
50μmx 50μmの可動範囲
100°Cまで焼き付け可能
チタンまたはインバー構造
閉ループPicoQ®コントロール

代表的なアプリケーション
X線、VUV、および光学顕微鏡
表面計測
UHV原子スケール顕微鏡

Nano-UHV50は、チタンまたはインバーで構成された2軸UHV互換のピエゾナノポジショニングシステムです。 Nano-UHV50は、UHV互換材料のみで作られており、10-10Torrの真空アプリケーション向けに100°Cでベーキングできます。 1インチ(25mm)の中央開口部は、サンプルホルダーに光路またはアクセスを提供します。 独自のPicoQ®テクノロジーを利用した内部位置センサーは、ピコメーター精度で絶対的で反復可能な位置測定を提供します。 ケーブルの長さとコネクタは、実際の設置に合わせてカスタマイズされています。 コネクタの配線はAccu-Glass Productsの電気フィードスルーフランジと互換性があります-他のタイプのフランジとの互換性が要求される場合があります。


技術仕様

Range of motion (X)

50 μm

Range of motion (Y)

50 μm

Resolution (XY)

0.1 nm

Resonant Frequency (X)

500 Hz ±20%

Resonant Frequency (Y)

250 Hz ±20%

Stiffness

0.5 N/μm

θ roll, θ pitch (typical)

≤1 μrad

θ yaw (typical)

≤3 μrad

Recommended max. load (horizontal)*

0.5 kg

Recommended max. load (vertical)*

0.2 kg

Body Material

Invar or Titanium

Controller

Nano-Drive®


*より大きな負荷要件については、お問い合わせください。

Nano-UHV50 Drawing 図面ダウンロード
Nano-UHV50 Catalog Pages カタログダウンロード

関連製品

Nano-UHV100
Nano-UHV200
MadMotor®-UHV piezo motor stage
Accessories
Nano-Drive®
Software
Custom



 

Nano-UHV100

特徴
UHV互換ピエゾナノポジショナー
2軸(XY)、大口径
100μmx 100μmの可動範囲
100°Cまで焼き付け可能
チタンまたはインバー構造
閉ループPicoQ®コントロール

代表的なアプリケーション
X線、VUV、および光学顕微鏡
表面計測
UHV原子スケール顕微鏡


製品説明
Nano-UHV100は、チタンまたはインバーで構成された2軸UHV互換のピエゾナノポジショニングステージです。 Nano-UHV100は、UHV互換材料のみで作られており、10-10Torrの範囲の真空用途向けに100°Cで焼き付けることができます。 大きな(2.6” x 2.6”)中央開口部により、Nano-UHV100は真空顕微鏡用途に最適です。 独自のPicoQ®テクノロジーを利用した内部位置センサーは、ピコメーター精度で絶対的で反復可能な位置測定を提供します。 ケーブルの長さとコネクタは、実際の設置に合わせてカスタマイズされています。 コネクタの配線はAccu-Glass Productsの電気フィードスルーフランジと互換性があります-他のタイプのフランジとの互換性が要求される場合があります。

 

技術仕様

Range of motion (X)

100 μm

Range of motion (Y)

100 μm

Resolution (XY)

0.2 nm

Resonant Frequency (X)

500 Hz ±20%

Resonant Frequency (Y)

250 Hz ±20%

Stiffness

1.0 N/μm

θ roll, θ pitch (typical)

≤1 μrad

θ yaw (typical)

≤3 μrad

Recommended max. load (horizontal)*

0.5 kg

Recommended max. load (vertical)*

0.2 kg

Body Material

Invar or Titanium

Controller

Nano-Drive®

Nano-UHV100 Drawing 図面ダウンロード
Nano-UHV100 Catalog Pages カタログダウンロード


関連製品

Nano-UHV50
Nano-UHV200
MadMotor®-UHV piezo motor stage
Accessories
Nano-Drive®
Software
Custom



 

Nano-UHV200

特徴
UHV互換ピエゾナノポジショナー
3軸(XYZ)
200μmx 200μmx 200μmモーション
100°Cまで焼き付け可能
チタンおよび316SS構造
閉ループPicoQ®コントロール


代表的なアプリケーション
X線、VUV、および光学顕微鏡
表面計測
UHV原子スケール顕微鏡


製品説明
Nano-UHV200は、チタンと316ステンレス鋼で構成された3軸UHV互換のピエゾナノポジショニングシステムです。 Nano-UHV200は、非磁性のUHV互換材料で完全に作られており、10-10 Torrの範囲の真空アプリケーション向けに100°Cでベーキングできます。 2インチx 2インチの中央開口部は、サンプルホルダーに光路またはアクセスを提供します。 独自のPicoQ®テクノロジーを利用した内部位置センサーは、ピコメーター精度で絶対的で反復可能な位置測定を提供します。 ケーブルの長さとコネクタは、実際の設置に合わせてカスタマイズされています。 コネクタの配線はAccu-Glass Productsの電気フィードスルーフランジと互換性があります-他のタイプのフランジとの互換性が要求される場合があります。

 

技術仕様

Range of motion (X)

200 μm

Range of motion (Y)

200 μm

Range of motion (Z)

200 μm

Resolution (XYZ)

0.4 nm

Resonant Frequency (X)

300 Hz ±20%

Resonant Frequency (Y)

150 Hz ±20%

Resonant Frequency (Z)

175 Hz ±20%

Stiffness

2 N/μm

θ roll, θ pitch (typical)

≤1 μrad

θ yaw (typical)

≤3 μrad

Recommended max. load (horizontal)*

0.5 kg

Recommended max. load (vertical)*

0.2 kg

Body Material

Titanium and 316 SS

Controller

Nano-Drive®

Nano-UHV200 Drawing 図面ダウンロード
Nano-UHV200 Catalog Pages カタログダウンロード

関連製品

Nano-UHV50
Nano-UHV100
MadMotor®-UHV piezo motor stage
Accessories
Nano-Drive®
Software
Custom



 

MadMotor®-UHV ピエゾ モーター ステージ


特徴
UHV互換ピエゾモーターステージ
移動範囲:10mm
センサー解像度:100nm
独自のMadMotor®テクノロジー
Mad-Drive®DSPコントローラー
LabVIEW互換

代表的なアプリケーション
UHVでの精密なアライメント
サンプルとプローブの位置決め
UHVサンプル転送




製品説明
MadMotor®-UHVは、長い移動範囲にわたって高精度のアライメントを実現する、精密なピエゾモーター駆動のマイクロポジショニングシステムです。 MadMotor®-UHVステージは、独自のMadMotor®ピエゾモーターテクノロジーを使用して、軸ごとに最大10mmの移動を可能にし、高解像度と優れた再現性を実現しています。 渦電流センサーは、移動範囲全体で100nmの感度を提供します。

Mad City Torの超高真空(UHV)機器のエンジニアリングおよび製造における豊富な経験を活用して、MadMotor®-UHVは1 x 10-11 mbarの真空に対応しています。 経験豊富なエンジニアリングスタッフが、UHV操作の厳しい要件を考慮してMadMotor®-UHVステージを慎重に設計しました。 Mad City LabsのUHV計装に関する実際の経験は、私たちの材料の選択を知らせており、私たちの実用的および技術的基準を満たす最高の材料のみがグレードを作っています。 MadMotor®-UHVステージは、より繊細なピエゾモーター設計を損傷する可能性のあるサンプルの移動の厳しい条件に耐えるように設計されています。 さらに、MadMotor®-UHVステージは、最大150°Cの温度で長時間のベーキングに耐えることができます。 その結果、MadMotor®-UHVは、UHVアプリケーションで必要とされる堅牢で信頼性の高いステージです。

MadMotor®-UHVには、統合DSPおよびUSBインターフェイスを備えた1、2、または3軸ピエゾモータードライバーであるMad-Drive®が含まれています。 Mad-Drive®は、MadMotor®DLLインターフェイス(付属)を介して複雑なモーション機能を実行するようにプログラムできます。 他のピエゾモーターとは異なり、MadMotor®DLLを使用すると、MadMotor®-UHVを可変のステップサイズとステッピング距離を持つ単純なステッピングモーターとして扱うことができます。 Mad-Drive®コントローラーはLabVIEWと互換性があり、システムにはLabVIEWモーション制御のサンプルが付属しています。 オプションのワイヤレスジョイスティックコントロールも利用できます。 MadMotor®-UHVstagesは、フランジマウントまたは自立構成向けに設計されており、Mad City Labsのさまざまな真空ナノ位置決めシステムと互換性があります。 MadMotor®-UHVは、アプリケーションに合わせてカスタマイズできます。

 

Technical Specifications

Range of motion (per axis)

10 mm

Sensor Resolution 

100 nm

Step Size (minimum)

250 nm

Maximum Speed

1 mm/sec

Available configurations

1, 2 or 3 axis

UHV compatibility

1 x 10-11 mbar

Bakeable temperature

150°C

Recommended max. load*

6 kg

Body Material

Aluminum

Stage motor

MadMotor® piezo motor 

Controller

Mad-Drive®




MadMotor®-UHV Drawing 図面ダウンロード
MadMotor®-UHV Catalog Pages カタログダウンロード


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