THz ファブリ・ペロ(Fabry-Perot) エタロン TYDEX
TYDEX
テラヘルツ ファブリ・ペロエタロン THz Fabry-Pérot Etalon (TFPE) は,高抵抗のフロートゾーンシリコンの平面板を用いて,反射面間の距離を固定したファブリ・ペロ型干渉計です。エタロンは、通常のプラノプラノ窓よりも優れた平面度と平行度で製造されています。エタロンの厚さは高精度に測定されます。
一般的仕様
TFPEは、TDSシステムの校正、狭帯域テラヘルツ光源の調整、テラヘルツ周波数帯でのスペクトル法による厚さ測定を行う際の厚さ基準として使用されます。また、TFPEは狭帯域フィルターとしても使用できます(エタロンのわずかな偏角で透過範囲を調整できます)。
使用例
TFPEの使用例として、試料の厚さを正確に測定するためのTDSシステムプロセスのキャリブレーションがあります。実験装置を図1に示す。
Fig. 1. Experimental setup
実験では、TFPEの透過スペクトルを測定し、回折極大点間の距離を求めました(図2)。この距離とHRFZ-Siの屈折率(3.416)があれば、TFPEの厚さが計算できます。
Fig. 2. TFPE transmission spectrum within 0.5 – 1 THz range at thickness 3.042 mm
測定された厚さの値は、品質証明書に記載されているものと同じでなければなりません。不一致があった場合はTDSシステムの調整が必要です。
以下のTFPEが在庫されています。
*0.001mmの精度で各エタロンごとに測定。
**FSR(Free Spectral Range)とは、TFPEの縦方向のモード間の周波数オフセットのことです。ここで,cは光速,lはTFPEの厚さ,nはHRFZ-Siの屈折率である。
***フィネス(F)とは,自由なスペクトル範囲と帯域幅(半値全幅)の比です。
フィネス(F)は,F=(2・π)/(-ln (R^2 ) )で表されます。
詳しくは光学部品在庫 (THz windows section)をご覧ください。
また、お客様のご要望に応じて、お客様仕様のTFPEを製作いたします。