IREM IV フォトン・エミッション・マイクロスコープ・システム Infrared Laboratories
Infrared Laboratories
IREM IV
フォトン・エミッション・マイクロスコープ・システム
IREM-IV フォトン・エミッション顕微鏡は、お客様の困難なIRフォトン・エミッションFA問題を解決する準備ができています。20年以上にわたり、私たちは世界の主要な半導体企業と協力して、最も高感度なフォトン・エミッションFAツールを提供してきました。
◉ 顧客サービスパートナーシップ
世界各地でのオンサイトサービス、予防保全、トレーニング、オンラインまたは電話でのテクニカルサポートなど、お客様のオペレーションに最大限のアップタイムと品質を確保するための包括的なサービス・サポートプランを提供します。
◉ 超低ノイズMCT（HgCdTe）カメラ
IREM-IVカメラは、超低ノイズの長波長PEMイメージングを提供し、400mVで動作する10nmデバイスのエミッションイメージング感度が実証されています。6ポジションのレンズタレットや20時間以上のLN2保持時間など、優れた機能を備え、メンテナンス性に優れたカメラを自社で設計・製造しています。光学拡張ポートは、外部レーザースキャンOBIRCH、LADA、TIVA、その他のイメージングモードのためのアップグレードパスを提供します。
◉ SIL 3.3NA対物レンズ
3.3NAのSIL対物レンズは、全視野にわたって回折限界を超えた優れたイメージングを実現するために最適化されたカスタムデザインのレンズの最新モデルです。特許取得済みの自動調芯SILチップは、被検物の局所的な輪郭に合わせて自動的に水平になります。独自の先端屈曲設計により、業界で最も低い接触力を実現しているため、マウントされたデバイスやベア・ウェハーのイメージングに適しています。
◉ 表面形状センサー
デバイスの表面形状を10μm以下の高さ分解能で測定するプロファイルセンサーを搭載しています。また、X-YZカメラステージに内蔵されたチップチルトテーブルを用いて、エッジの折り返しによる局所的な表面の傾きやデバイスの反りを直接測定し、補正することができます。SILチップのセルフアラインメント機能と組み合わせることで、トラブルのないSILイメージングを実現します。
◉ デュアル クーリング フィルター/温度ホイール
長波長のPEMイメージングでは、一般的に熱バックグラウンドノイズが制限されます。IREM-IVには2つの冷却フィルターホイールが内蔵されているので、どのような測定シナリオでも、最適なスペクトルフィルターまたはバックグラウンド制限アパーチャを常に使用できます。
フォトン・エミッション・マイクロスコープ・システムの特徴
⦿ 倒立型顕微鏡のデザイン
⦿ 一般的なテスターとのドッキングが可能
⦿ ウェーハプロービング機能（オプション
⦿ オプションのレーザーセンサー
⦿ DUTの表面の傾きやプロファイルを測定
⦿ モジュラーアップグレード/光学系拡張ポート
⦿ 外付けのレーザースキャンやその他の光学システムの導入に最適
IREM-IVカメラ
⦿ 1016 x 1016px LN2冷却型MCTアレイ
⦿ 18ミクロンのピクセルサイズ
⦿ 波長帯域：440～2500nm
⦿ 6ポジション電動レンズタレット
⦿ 6ポジションのデュアル内部冷却式フィルター/アパーチャホイール
⦿ >20時間以上のLN2ホールドタイム
モーションシステム
⦿ 25nmの分解能
⦿ 100mmレンジ(x-y-z)
⦿ ダンピングによる防振
⦿ モーター駆動のサンプルチップチルトオプション
AIRISソフトウェア
AIRISソフトウェアは、IREMフォトン・エミッション顕微鏡を簡単にコントロールすることができ、包括的な画像解析とテストプロジェクト管理ツールを提供します。
⦿ 開いている画像をクリックすることで、サンプル上の任意のポイントに移動可能
⦿ ポイントデータベースにより、複数の興味あるポイントに素早く戻ることが可能
⦿ 大視野、高解像度のモザイク画像の作成
⦿ AIRISスクリプトによる測定作業の自動化
プロジェクトウィンドウは、すべてのAIRISデータのための独立した作業領域を提供します。
⦿ データやメモをプロジェクトのワークスペースに整理し、後から開くことができます。
⦿ プロジェクトウィンドウ内の任意の場所に、ボタンをクリックするだけで付箋を作成できます。プロジェクトウィンドウ内の任意の場所に、ボタンをクリックするだけで付箋を作成し、結果やテスト条件などをまとめておくことができます。
システム サイズ
顕微鏡
⦿ 810mm x 876mm x 813mm
⦿ 160kg
電子ラック
⦿ 610mm x 1283mm x 762mm
⦿ 90kg
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