Difrotec ディフロテックは、光学テストの画期的な技術を開発しました。 D7は、表面形状や透過波面の品質を超高精度で測定するための、位相シフト式の点回折コモンパス干渉計です。 D7は、表面や波面の絶対的な形状を検出します。動画を見る 絶対値とは、測定された形状が、絶対的な基準（サブ波長アパーチャによる光の回折によって生成された完全な球形の波面）から数えられることを意味します。 最新の製品情報を見る(カタログ) Difrotec_products&services.pdf 干渉計D7のサイズ 性能 ピーク・ツー・バレー(Peak-to-valley)の絶対精度： ±0.6 nm（λ/1000) Peak-to-valleyの分解能： 0.05 nm (λ/12000) 波面RMSの再現性： < 0.23 nm (λ/2800) 単純RMS繰返し精度： < 0.06 nm (λ/10500) レーザーの種類と波長： 安定化He-Ne, 632.8 nm 数値開口部 NA: 0.55 (f# 0.91) データ収集： 位相シフト干渉計（PSI) 測定方式 1. 球面コンケーブ(凹面): 2. 球面コンベックス(凸面): 3. 平面: 縦置きコンケーブ(凹面) 4. 光学系 (波面品質検査): 光学検査・測定 光学系のコンケーブ(凹面)、コンベックス(凸面)、コーナーキューブ、平面、非球面、自由曲面、透過波面などの表面形状や、曲率半径の測定など、光学系の検査・測定サービスを行っています。 光学設計・製作 高精度光学系のコンピュータモデリングにおける30年以上の経験に基づき、高品質の光学系を設計・製造するための独自のパートナーシップを確立しています。光学機器の製造における当社の長期的なパートナーは、KPU - Korea Polytechnic Universityです。
インターフェロメトリは、高精度でサーフェスマップを取得する際の最初の光学計測法です。ディフロテックは、インターフェロメトリ測定の画期的なイノベーションを発表しました。コンパクトで使いやすく、信頼性の高い干渉計で、精度は最先端技術を大きく前進させています。 精密に加工されたマウントで光学部品をテストする。
D7はコンパクトで信頼性が高く、使いやすい。 干渉計市場における精度のフラッグシップであるDifrotec社の干渉計D7は、光学面や波面の形状を測定する装置です。 測定値と実測値の差が0.6nm以下であること。これがD7の精度値です。 D7は独立したハードウェアであり、フリンジパターン処理ソフトウェア「DifroMetric」が付属しています。 世界記録を達成 干渉計D7は、世界最高精度の0.6nm、6Ångströmの精度と優れた再現性を実現しています。 最新技術 D7は、位相シフトコモンパスポイント回折干渉計phase shifting common path point diffraction interferometer (PSPDI)です。 一般的なフィゾー干渉計では基準光学系が必要で、追加の誤差が発生したり、表面の詳細がマスクされたりしますが、D7ではピンホール（薄い金属膜のサブ波長の開口部）から回折された波面が完全な基準となります。 D7は特許出願中です。 利点
理想的なリファレンス：物理的なリファレンスを使用することによる誤差の伝播がない
◉ 膨大な数のリファレンスを変更する必要がないため、時間を節約できます。 ◉ 高価なリファレンスキットを購入する必要がないため、コスト削減につながる
フィゾー干渉計に使用されている標準的な性能の透 過球に比べ、100倍の精度を実現。
◉ 精度を高めるための中間的な機器や追加的な方法が必要ないため、時間とコストの節約になります。
D7は他の干渉計に比べて、より多くの表面形状を検査することができる
◉ 光学システムの設置・発売前に製造上のミスを明らかにすることによるコスト削減
安定性と堅牢性
◉ 優れた再現性により、継続的な証明を必要としない結果が得られるため、時間を節約できます。 ◉ D7は特別な環境条件を必要としないため、コスト削減につながります。
幅広いアプリケーションに対応
◉ コンパクトでシンプルなセットアップにより、研究室や工場の現場（in-situ）で、垂直および水平方向に使用することができ、時間とコストを節約できます。
リトレース エラーなし
◉ 非球面や自由曲面を測定する際のセットアップが簡素化され、時間とコストの削減につながります。
測定方法
D7を使った光学系の測定は、3つの簡単なステップで行うことができます。
1
2
3
仕様
D7には物理的な参照光学系がありません。 D7の動作原理(具体的な回路図は非公開) 2ビーム位相シフト式点光源干渉計は、2つの独立した可動可能なビームを利用することで、他の方式に比べて大きな利点があります。ここでは、テストビームとリファレンスビームが互いに直交しており、リファレンスの強度を調整することができます。凹面の形状は直接測定することができますが、他の種類の光学部品は非精密なアクセサリを使用して測定します。詳細な構成については、www.difrotec.com、をご参照ください。 応用 Difrotec社のD7は、既存のFizeau干渉計の検証を目的としています。リファレンスレスの設計により、D7は複雑な形状や大きな非球面の高精度光学部品のテストに適しています。D7はコンパクトで信頼性が高く、使いやすい干渉計であり、一般的な光学部品の測定にも同様に優れています。 波面品質 ⦿ プロジェクションレンズ - 望遠鏡 ⦿ マイクロスコープ ⦿ フォトレンズ 光学的表面品質 ⦿ 球面 ⦿ フラット ⦿ コーナーキューブ ⦿ 非球面 ⦿ フリーフォーム ⦿ 参照光学系 曲率半径 ⦿ 長距離センサーとD7の高いフォーカス精度を組み合わせることで、ppmのRoC精度を実現 画像品質 ⦿ 導入前に光学系の解像性能を検証する。
