干渉計市場における精度のフラッグシップであるDifrotec社の干渉計D7は、光学面や波面の形状を測定する装置です。測定値と実測値の差が0.6nm以下であること。これがD7の精度値です。 Difrotec社D7は独立したハードウェアであり、フリンジパターン処理ソフトウェア「DifroMetric」が付属しています。