取扱説明書 1軸 ステージ CX CZ FOC FOC500 FOCKS 必ずお読み下さい。 PIEZOCONCEPT
PIEZOCONCEPT
1 軸 ステージ
CX
CZ
FOC
FOC500
FOCHS
HS1
HS1H
LTZ
SLR
Z-INSERT
Z-STAGE
インストールおよび操作マニュアル CX
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間保存することができ ます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vに設定し、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
CXにはユーザが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービススタッフのみが行ってください。
重要
本書に記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいています。本製品を使用する前に、購入者または使用者は各製品の適合性を判断する必要があります。PIEZOCONCEPTの製品およびサービスの使用に関連するすべてのリスクと責任は、購入者または使用者が負うものとします。
1 はじめに
CXは、卓越した分解能と安定性を備えたPZTアクチュエータ搭載のリニアナノポジショニングステージです。高い安定性を誇るCXは、最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。CXは、クローズドループ動作のための位置検出器を備えています。
1.1 CXの開梱
CXを開梱する前に、この取扱説明書全体をお読みください。特に、次の「CXの取り扱いについて」の項には注意してください。CXを箱から取り出し、平らな面に置いてください。梱包の中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあれば直ちにPIEZOCONCEPTにお知らせください。
1.2 CXの取り扱いについて
CX は高精度の科学機器であるため、正しく動作させるために特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、CX に永久的な損傷を与える可能性があります。長くお使いいただくために、以下のガイドラインを厳守してください。
- ステージを持ち上げる前に、必ずPIEZOCONCEPTコントローラの電源を切ってください。
- ステージを手や他のもので押して移動させないでください。
- 移動ステージとフレームとの間にトルクがかからないようにしてください。
- CXを落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えないでください。
- ケーブルで持ち上げないでください。
- CXを取り付ける面は、平らできれいな状態にしてください。同様に、CXの底面もCXの底面にゴミやホコリがないことを確認してから取り付けてください。
- 液体に浸さないでください。CXのクリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールでわずかに湿らせます。
イソプロパノールまたはエタノールで湿らせ、表面を軽く拭いてください。液体や糸くずが放電溝に入らないようにしてください。
- CXの内部には修理可能な部品はありません。
1.3 CX
CX は高性能 Al 合金で製造されている。CXにはPZTアクチュエータが内蔵されており、ステージを動かすための駆動力を供給する。誘導機構であるフレクシャーヒンジは、放電加工によりステージに刻み込まれている。また、PZTアクチュエーターの可動域を広げるためのアンプも放電加工で一体成形している。PZTアクチュエーターは、ステージの移動方向に対して垂直な方向で、このアンプ内に配置されています。CXステージには、修理可能な部品はありません。
CXは絶対に分解しないでください。
2 設置方法
CX は水平に設置する必要があります。CXにかかる負荷は最小限にすることをお勧めします。負荷が大きいと、ステージの応答速度が低下し、振動が発生したり、疲労や動作不良の原因となることがあります。
CXの設置方法には2通りあります。CXを設置したい場所に置く方法と、取り付け穴を利用する方法です（最も推奨される方法です）。設置方法は、お客様のアプリケーションや、CXを取り外す頻度によって選択します。
CXをどのように設置するかに関わらず、以下のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリがないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、CXの底面を軽く拭き、ゴミやホコリを取り除いてください。
c) CXは必ず下段を持って持ち上げてください。
d) 絶対に電源を入れたままCXを持ち上げたり、位置決めしたり、組み立てたり、分解したりしないでください。
e) 重要! CXと設置面との間にグランドループ（第3項）がないことを確認してください。
2.1 固定具なし
CXは、必要な場所に置くだけで取り付けることができます。CXの質量は、ほとんどのスキャンや位置決め用途において、十分な保持力を発揮します。
2.2 M3ボアホールを使った取り付け
CXステージには、37.8×38.2mmの長方形にM3ネジ用の穴が4つ開いています。CXを固定する際には、取り付け面が平らで、取り付け面とCXの底面が汚れていないことが必要です。CXを固定する際は、最大0.5Nmのトルクで固定してください。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは CX のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があります。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続されており、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されています。したがって、AC電源コードのグランドと取付面の間にブレードを取り付けると、グランドループをショートさせる可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してアースに戻る大電流源を特定してください。いかなる場合においても、取付面を機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のグランドリターンとして使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの発生源を探します。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトの技術サポートにご連絡ください。
4 CXの操作
CXには、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。クローズドループ運転では、ピエゾコントローラにより、クリープやヒステリシスの影響が排除され、位置は指令位置で一定に保たれます。
4.1 クローズドループモードでの動作
CX には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており，完全な位置決め制御には PIEZOCONCEPT コントローラを使用します。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
a) 2項で説明したようにCXを設置します。
b) PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにします。
c) アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで，指令信号を 0.0V に設定する。
4.2 操作時の注意
CX は高精度の科学機器であるため、操作中の取り扱いには注意が必要です。取り扱いを誤ると、永久的な破損を招く恐れがあります。
a) 動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
インストールおよび操作マニュアル CZ
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間保存することができ ます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vに設定し、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
CZには、ユーザーが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービススタッフのみが行ってください。
重要
本書に記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいています。本製品を使用する前に、購入者または使用者は各製品の適合性を判断する必要があります。PIEZOCONCEPTの製品およびサービスの使用に関連するすべてのリスクと責任は、購入者または使用者が負うものとします。
1 はじめに
CZは、卓越した分解能と安定性を備えたPZTアクチュエータ搭載のリニアナノポジショニングステージです。その高い安定性により、CZは最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。CZは、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。
1.1 CZの開梱
CZを開梱する前に、この取扱説明書全体をお読みください。特に、次の「CZの取り扱いについて」の項には注意してください。CZを箱から取り出し、平らな場所に置いてください。パッケージの中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあれば、すぐにPIEZOCONCEPTに連絡してください。
1.2 CZの取り扱い
CZは高精度の科学機器であるため、正しく動作させるために特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、CZに永久的な損傷を与える可能性があります。長く使用するために、以下のガイドラインに厳密に従ってください。
- ステージを持ち上げる前に、必ずPIEZOCONCEPTコントローラの電源を切ってください。
- ステージを手や他のもので押して動かさないようにしてください。
- 移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
- CZを落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えないでください。
- ケーブルで持ち上げないでください。
- CZを取り付ける表面は、平らできれいな状態である必要があります。同様に、CZの底面もCZを取り付ける表面は、平らできれいな状態にしてください。
- 液体に浸さないでください。CZのクリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールでわずかに湿らせます。
イソプロパノールまたはエタノールで湿らせ、表面を軽く拭いてください。EDMの溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
- CZは絶対に分解しないでください。内部に修理可能な部品はありません。
1.3 CZ
CZ は高性能 Al 合金で製造されている。CZにはPZTアクチュエータが内蔵されており、ステージを動かすための駆動力を供給する。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは、放電加工によりステージに刻み込まれている。また、PZTアクチュエーターの可動域を広げるためのアンプも放電加工で形成している。PZTアクチュエーターは、ステージの移動方向に対して垂直な方向で、このアンプ内に配置されている。CZステージには、保守可能な部品はありません。Z軸は正電圧をかけると上方向に動きます。
CZは絶対に分解しないでください。内部に修理可能な部品はありません。
2 設置方法
CZは水平に設置する必要があります。CZにかかる荷重は最小限にすることをお勧めします。負荷が大きいと、ステージの応答速度が低下し、振動の原因となり、疲労や動作不良の原因となることがあります。
CZの取り付け方法は2通りあります。CZを目的の場所に設置する方法と、取り付け穴を使って設置する方法です（最も推奨される方法です）。設置方法の選択は、特定のアプリケーションと、CZを取り外す頻度に依存します。
CZの取り付け方法に関わらず、以下のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリがないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、CZの底面を軽く拭き取り、粒子やほこりを除去します。
c) CZは常にボトムステージで持ち上げてください。
d) 電源を入れたまま、CZを持ち上げたり、配置したり、組み立てたり、分解したりしないでください。
e) 重要! CZと取り付け面の間にグランドループ（セクション3）がないか確認してください。
2.1 固定具なし
CZは、希望する場所に置くだけで取り付けることができます。CZの質量は、ほとんどのスキャンや位置決めの用途において、CZを所定の位置に維持するのに十分です。
2.2 M3ボアホールを使った取り付け
CZステージには、37.8×38.2mmの長方形の上にM3ネジ用の穴が4つあります。CZを固定する際は、取り付け面が平らで、取り付け面とCZの底面が汚れていないことが必要です。CZを固定する際は、最大0.5Nmのトルクで固定してください。
注）CZの場合、25mm角のM3ネジ穴は使用しないことが重要です。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面の間のグランドループです。グランドループは CZ のノイズ源となり、場合によっては圧電アクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があります。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続されており、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されています。したがって、AC電源コードのグランドと取付面の間にブレードを取り付けると、グランドループをショートさせる可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してアースに戻る大電流源を特定してください。いかなる場合においても、取付面を機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のグランドリターンとして使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの発生源を探します。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトの技術サポートにご連絡ください。
4 CZの操作
CZには、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。PIEZOCONCEPTコントローラを使用したクローズドループ運転では、クリープやヒステリシスの影響が排除され、位置は指令位置で一定に保持されます。
4.1 クローズドループモードでの動作
CZ には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT コントローラを使用して完全な位置決め制御を行います。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
a) 2 章で説明したように CZ を設置します。
b) PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにします。
c) アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで、コマンド信号を0.0Vに設定します。
4.2 操作中の注意
CZ は高精度の科学機器であるため、操作中は慎重に取り扱う必要があります。これを怠ると、永久的な損傷を受ける可能性があります。
a) 動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確 認してください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
インストレーション＆オペレーションマニュアル FOC ナノポジショナー
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間保存することができ ます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vにし、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切り離してください。
FOCにはユーザが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービスマンのみが行ってください。
重要
本書に記載されているPIEZOCONCEPT製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいています。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。PIEZOCONCEPTの製品およびサービスの使用に関連するすべてのリスクと責任は、購入者または使用者が負うものとします。
1 はじめに
FOCは、100、200、300μmレンジのクローズドループ型顕微鏡対物レンズナノポジショナーです。
1.1 FOCの開梱
開梱する前に、この取扱説明書をすべてお読みになり、特に次の「FOCの取り扱いについて」の項に注意してください。梱包の中身を出荷リストと照らし合わせて確認し、不足品があれば直ちにPIEZOCONCEPTに連絡してください。
1.2 FOCの取り扱い
FOCは高精度の科学機器であるため、適切な動作を確保するために特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、ナノポジショニングステージに永久的な損傷を与える可能性があります。長く使えるように、以下のガイドラインに厳密に従ってください。
放電加工溝には、絶対に物を差し込まないでください。EDM溝は、フレクシャーヒンジを形成し、ステージの可動部をステージフレームから分離するための切り口です。この溝に物を差し込むと、大きな破損を招く恐れがあります。
DeepLトランスレーションを手や他のもので押して動かさないでください。移動ステージとフレームとの間にトルクがかからないようにしてください。
ナノポジショニングステージを落としたり、乱暴に扱ったり、物理的なショックを与えないようにしてください。
ケーブルで持ち上げないでください。
FOCを取り付ける表面は、平らできれいである必要があります。同様に、FOCの底面にも粒子や埃がない状態にしてから取り付けてください。
液体に浸さないでください。FOCのクリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで軽く湿らせ、表面を軽く拭いてください。EDMの溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
ナノポジショニングステージは絶対に分解しないでください。
1.3 FOC
FOC は高性能 Al7075 合金で製作されている。ピエゾアクチュエータはFOC内にプリロードされ、ステージを動かす駆動力を供給している。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは放電加工によりステージに刻み込まれている。FOCステージには保守可能な部品はありません。
FOCには、RMS、M25、M26、M27、M32のいずれかの真鍮製インサートが装着されています。メスネジの真鍮インサートは、M36のネジを使ってFOCにネジ止めされています。FOCは、適切なメスネジ式真鍮インサートが装着された状態で納品されます。そうでない場合は、手動で、またはレンズスパナレンチでねじ込むことができます。
真鍮製のオスネジのインサートは、顕微鏡の対物レンズホルダーにねじ込んでください。次に、1.5mmの六角レンチを使って、FOCにあるM2ブロッキングセットスクリューを緩めます（下の写真参照 - ネジは赤色です）。その後、FOCをオネジタイプの真鍮製インサートに適切な角度でセットし、1.5mmの六角レンチで止めネジを締め付けます。
2 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと取り付け面の間のグランドループです。グランドループは FOC のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生することがあり ます。
2.1 グランドループの防止と特定
グランドループは DVM で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用すること で検出できます。
グランドループの防止には、2つの方法があります。効果的で簡単な方法は、ステージを取り付け面から絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーまたは紙を挟み、非導電性の取り付けネジを併用する）。もう1つは、PIEZOCONCEPTのコントローラのグランドを設置面に接続する方法です。ステージはPIEZOCONCEPTのコントローラのグランドに直接接続され、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されています。PIEZOCONCEPTのコントローラの筐体もアース電位になっています。PIEZOCONCEPTのコントローラ筐体のいずれかのネジと設置面の間にアース線を取り付けると、アースループが短絡されることがあります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。実装面は、いかなる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）の電気的な接地電流経路として使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループの継続的な存在、または過剰な試料質量（セクション2参照）を示している可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの原因を探ってください。問題が続くようであれば、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
3 ナノポジショニングステージの操作
FOCには、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。PIEZOCONCEPTのコントローラを使用したクローズドループ動作では、クリープやヒステリシスの影響が取り除かれ、位置は指令位置で一定に保持されます。
3.1 クローズドループモードでの動作
FOC には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT のコントローラを使用して完全な位置決め制御を行います。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
1. Section 1で説明したようにFOCを設置します。
2. PIEZOCONCEPTのコントローラの電源をOFFにする。
3. アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースでコマンド信号を0.0Vに設定する。
4. D型9ピンコネクタをPIEZOCONCEPTのコントローラに接続し、ネジ2本を固定する。
5. 電源スイッチをONにします。
6. 位置決めステージの位置は、コマンド電圧で制御されます。
電源を入れたまま9Pコネクタを抜かないでください。必ず指令電圧をゼロにし、電源を切ってから取り外してください。PZTアクチュエータは1分間放電させてから切断してください。
3.2 操作時の注意
FOC は高精度の科学機器であるため、操作中は慎重に取り扱う必要があります。これを怠ると、永久的な損傷を受ける可能性があります。
動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
PZTには150V以上，-5V以下の電圧を絶対にかけないでください。
放電加工溝にゴミが溜まらないように、作業環境を清潔にしてください。
インストレーション＆オペレーションマニュアル FOC500 ナノポジショナー
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vに設定し、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにして、最後に1分待ってから切断してください。
FOC500には、ユーザーが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービスマンだけが行ってください。
重要
本書に記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいています。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。PIEZOCONCEPTの製品およびサービスの使用に関連するすべてのリスクと責任は、購入者または使用者が負うものとします。
1 はじめに
FOC500は、500μmレンジのクローズドループ型顕微鏡対物レンズナノポジショナーです。
1.1 FOC500の開梱
FOC500を開梱する前に、この取扱説明書全体をお読みください。特に、次の「FOC500の取り扱いについて」の項には注意してください。梱包の中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあれば直ちにPIEZOCONCEPTにお知らせください。
1.2 FOC500の取り扱いについて
FOC500は高精度の科学機器であるため、適切な動作を確保するために特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、ナノポジショニングステージに永久的な損傷を与える可能性があります。長くお使いいただくために、以下のガイドラインに厳密に従ってください。
放電加工溝には、絶対に物を差し込まないでください。EDM溝は、フレクシャーヒンジを形成し、ステージの可動部をステージフレームから分離するための切り口です。この溝に物を差し込むと、大きな破損を招く恐れがあります。
移動ステージを手や他のもので押して動かさないでください。移動ステージとフレームとの間にトルクがかからないようにしてください。
ナノポジショニングステージを落としたり、乱暴に扱ったり、物理的なショックを与えないようにしてください。
ケーブルで持ち上げないでください。
FOC500を取り付ける表面は、平らできれいである必要があります。同様に、取り付け前にFOC500の底面に粒子や埃がない状態であることが必要です。
液体に浸さないでください。FOC500のクリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで少し湿らせ、表面を軽く拭いてください。EDMの溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
ナノポジショニングステージは絶対に分解しないでください。
1.3 FOC500
FOC500は高性能なAl7075合金で製造されています。ピエゾアクチュエータはFOC500内にプリロードされ、ステージを動かすための駆動力を供給する。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは放電加工によりステージに刻み込まれている。FOC500ステージには保守可能な部品はありません。
FOC500には、RMS、M25、M26、M27、M32のいずれかの真鍮製インサートが装着されています。真鍮製のメスネジ付きインサートは、M36のネジを使ってFOC500にネジ止めされます。FOC500は、適切なメスネジ式真鍮製インサートが装着された状態で納品されます。そうでない場合は、手動またはレンズスパナレンチでねじ込むことができます。
真鍮製のオスネジのインサートは、顕微鏡の対物レンズホルダーにねじ込みます。次に、1.5mmの六角レンチを使って、FOC500にあるM2ブロッキングセットスクリューを緩めます（下の写真参照）。その後、FOC500を真鍮製のオスネジの上に適切な角度で置き、1.5mmの六角レンチで止めネジを締め付けます。
2 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループはFOC500のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動を与える可能性があります。
2.1 グランドループの防止と特定
グランドループは DVM で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用す ることで検出することができます。
グランドループの防止には、2つの方法があります。効果的で簡単な方法は、ステージを取り付け面から絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーまたは紙を挟み、非導電性の取り付けネジを併用する）。もう1つは、PIEZOCONCEPTのコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTのコントローラのグランドに接続され、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されます。PIEZOCONCEPTのコントローラの筐体もアース電位になっています。PIEZOCONCEPTのコントローラ筐体のいずれかのネジと設置面の間にアース線を取り付けると、アースループが短絡されることがあります。まれに有効な方法ではない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。実装面は、いかなる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）の電気的な接地電流経路として使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループの継続的な存在、または過剰な試料質量（セクション2参照）を示している可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの原因を探ってください。問題が続くようであれば、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
3 ナノポジショニングステージの操作
FOC500には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。PIEZOCONCEPTのコントローラを使用したクローズドループ動作では、クリープやヒステリシスの影響が排除され、位置は指令位置で一定に保持されます。
3.1 クローズドループモードでの動作
FOC500 には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT のコントローラを使用して完全な位置決め制御を行いま す。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
1. FOC500を1項で説明したように設置します。
2. PIEZOCONCEPTのコントローラの電源をOFFにする。
3. コマンド信号をアナログまたはデジタルで0.0Vに設定します。
4. D型9ピンコネクタをPIEZOCONCEPTのコントローラに接続し、ネジ2本で固定します。
5. 電源スイッチをONにします。
6. 位置決めステージの位置は、コマンドボルテージで制御します。
電源を入れたまま9ピンコネクタを抜かないでください。必ず指令電圧をゼロにし、電源を切ってから取り外してください。PZTアクチュエータは1分間放電させてから切断してください。
3.2 操作時の注意
FOC500 は高精度の科学機器であるため、操作中は慎重に取り扱う必要があります。これを怠ると、永久的な損傷を受ける可能性があります。
動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
PZTには150V以上，-5V以下の電圧を絶対に印加しないでください。
放電加工溝にゴミが溜まらないように、作業環境を清潔にしてください。
インストレーション＆オペレーションマニュアル FOCKSナノポジショナー
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vにし、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
FOCHSにはユーザが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービススタッフのみが行ってください。
重要
このマニュアルに記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいて作成されたものです。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。PIEZOCONCEPTの製品およびサービスの使用に関連するすべてのリスクと責任は、購入者または使用者が負うものとします。
1 はじめに
FOCHSは、100μmレンジのクローズドループ型顕微鏡対物レンズナノポジショナーです。
1.1 FOCHSの開梱
FOCHS を開梱する前に、この取扱説明書をよくお読みになり、特に次の「FOCHS の取り扱いについて」 の章に注意してください。梱包の中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあれば、すぐに PIEZOCONCEPT にご連絡ください。
1.2 FOCHS の取り扱い
FOCHSは高精度の科学機器であるため、正しく動作させるためには特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、ナノポジショニングステージに永久的な損傷を与える可能性があります。FOCHSを長くお使いいただくために、以下のガイドラインに厳密に従ってください。
放電加工溝には、絶対に物を差し込まないでください。EDM溝は、フレクシャーヒンジを形成し、ステージの可動部をステージフレームから分離するための切り口です。この溝に物を差し込むと、大きな破損を招く恐れがあります。
DeepLトランスレーションを手や他のもので押して動かさないでください。
移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
ナノポジショニングステージを落としたり、乱暴に扱ったり、物理的なショックを与えないようにしてください。
ケーブルで吊り上げないでください。
液体に浸さないでください。クリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで軽く湿らせ、表面を軽く拭いてください。放電加工機の溝には液体や糸くずを入れないでください。
ナノポジショニングステージは絶対に分解しないでください。
1.3 FOCHS
FOCHSは高性能なAl7075合金で製作されている。ピエゾアクチュエータはFOCHS内にプリロードされており，ステージを動かすための駆動力を供給する。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは，放電加工によりステージに刻み込まれている。FOCHSステージには保守可能な部品はありません。
FOCHSには、RMS、M25、M26、M27、M32のいずれかの真鍮製インサートが装着されています。真鍮製のメスネジ付きインサートは、M36のネジを使ってFOCHSにネジ止めされています。FOCHSは、適切なメスネジ式真鍮インサートが装着された状態で納品されます。そうでない場合は、手動で、またはレンズスパナレンチを使ってねじ込むことができます。
真鍮製のオスネジ付きリングは顕微鏡の対物レンズホルダーにねじ込みます。次に、ローレットリングを使用してFOCHSの真鍮製オスリングを緩めます。その後、FOCHSを真鍮製オスリングの上に適切な角度で置き、ローレットリングを手動で締 め付けます。
図1：真鍮製オスネジ付きリングとスチール製ローレットリングの説明
2 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは FOCHS のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があります。
2.1 グランドループの防止と特定
グランドループは DVM で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用す ることで検出することができます。
グランドループの防止には、2つの方法があります。効果的で簡単な方法は、ステージを取り付け面から絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーまたは紙を挟み、非導電性の取り付けネジを併用する）。
もう1つは、PIEZOCONCEPTのコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージはPIEZOCONCEPTのコントローラのグランドに直接接続され、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されています。PIEZOCONCEPTのコントローラーの筐体もアース電位になっています。PIEZOCONCEPTのコントローラ筐体のいずれかのネジと設置面の間にアース線を取り付けると、アースループが短絡されることがあります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。実装面は、いかなる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）の電気的な接地電流経路として使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループの継続的な存在、または過剰な試料質量（セクション2参照）を示している可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの原因を探ってください。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトの技術サポートにご連絡ください。
3 ナノポジショニングステージの操作
FOCHSには、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。PIEZOCONCEPTのコントローラを使用した閉ループ動作では、クリープやヒステリシスの影響が取り除かれ、位置は指令位置で一定に保持されます。
3.1 閉ループモードでの動作
FOCHS には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT のコントローラを使用して完全な位置決め制御を行いま す。クローズドループモードで動作させるには、以下の手順で行います。
1. FOCHS を 1 章で説明したように設置します。
2. PIEZOCONCEPTのコントローラの電源をOFFにします。
3. コマンド信号をアナログまたはデジタルで0.0Vに設定します。
4. D型9ピンコネクタをPIEZOCONCEPTのコントローラに接続し、ネジ2本で固定します。
5. 電源スイッチをONにします。
6.位置決めステージの位置は、コマンド電圧で制御されます。
電源を入れたまま9ピンコネクタを抜かないでください。必ず指令電圧をゼロにし、電源を切ってから取り外してください。PZTアクチュエータは1分間放電させてから切断してください。
3.2 操作中の注意
FOCHS は高精度の科学機器であるため、操作中は慎重に取り扱ってください。これを怠ると、永久的な損傷を受けることがあります。
動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確 認してください。
PZTには150V以上，-5V以下の電圧を絶対に印加しないでください。
放電加工溝にゴミが溜まらないように、作業環境を清潔にしてください。
