取扱説明書 2軸 ステージ BIO2 LF2 LFHS2 LT2 取扱説明書 必ずお読み下さい。 PIEZOCONCEPT
PIEZOCONCEPT
2 軸
BIO2
LF2
LFHS2
LT2
LTHS2
MWP2
TT2
インストールおよび操作マニュアル BIO2
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vにし、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
BIO2 には、ユーザーによる修理が可能な部品はありません。修理は、訓練を受けたサービス担当者のみが行ってください。
重要
このマニュアルに記載されているPIEZOCONCEPT製品に関するすべての技術情報、推奨事項、および例は、正しいと思われる情報に基づいています。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。本書は、PIEZOCONCEPT 製品の技術情報、推奨事項、使用例などを記載したものです。
1 はじめに
BIO2は、優れた分解能と安定性を備えたPZT作動型リニアナノポジショニングステージです。
ステージ中央にある83,6mmX54mmの穴は、透過ビーム、複数のプローブ、または倒立光学系を含むアプリケーションに理想的です。BIO2 は、大きな移動距離と高い安定性により、最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。BIO2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。
1.1 BIO2 の開梱
BIO2 を開梱する前に、この取扱説明書をよくお読みになり、特に次の「BIO2 の取扱いについて」の項を注意してください。BIO2 を箱から取り出し、平らな場所に置きます。梱包の中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあれば、すぐにPIEZOCONCEPTにご連絡ください。
1.2 BIO2 の取り扱いについて
BIO2 は高精度の科学機器であるため、正しく動作させるためには特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、BIO2 に永久的な損傷を与える可能性があります。BIO2 を長くお使いいただくために、以下の事項を厳守してください。
- 放電加工機の溝には、絶対に物を差し込まないでください。EDM溝は、フレクシャーヒンジを形成し、ステージの可動部をステージフレームから分離し、アンプを形成するための切り口です。この溝に物を入れると、大きな破損を招くことがあります。
- ステージを持ち上げる前に、必ずPIEZOCONCEPTコントローラの電源を切ってください。
- ステージを手や他のもので押して移動させないでください。
- 移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
- BIO2を落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えないでください。
- ケーブルで持ち上げないでください。
- BIO2 を取り付ける表面は、平らできれいな状態にしてください。同様に、BIO2 の底面にゴミやホコリがないことを確認してから取り付けてください。
- 液体に浸さないでください。クリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで湿らせて、表面を軽く拭いてください。EDMの溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
- BIO2内部には修理可能な部品はありません。
1.3 BIO2
BIO2 は高性能 Al 合金で製造されています。BIO2にはPZTアクチュエータが内蔵されており、ステージを動かすための駆動力を供給する。誘導機構であるフレクシャーヒンジは、放電加工によりステージに刻み込まれている。また、X軸とY軸のPZTアクチュエーターの可動域を広げるアンプも放電加工で一体成形している。PZTアクチュエーターは、ステージの移動方向に対して垂直な方向で、このアンプ内に配置されています。BIO2ステージには、修理可能な部品はありません。
このステージの側面には、2つの方向矢印が配置されています。これらの矢印は、正電圧を印加したときにステージがどの方向に動くかを示しています。BIO2には、2つのDB-9コネクタ（各運動軸に1つずつ）が付属しています。これらのコネクタには、識別のためにCHANNEL 1 (X), CHANNEL 2 (Y)のラベルが貼られています。この識別記号は、どのステージのどの駆動軸に接続するかを示しています。
BIO2 の内部には修理できる部品がありませんので、絶対に分解しないでください。
2 設置方法
BIO2 は水平に設置してください。BIO2 にかかる荷重は最小限にすることをお勧めします。負荷が大きいと、ステージの応答速度が低下し、振動の原因となり、疲労や動作の低下を招くことがあります。
BIO2の設置方法には2通りあります。BIO2 を設置する方法には、設置したい場所に BIO2 を設置する方法と、設置用の穴を利用する方法があります。BIO2をどのように設置するかは、用途や取り外す頻度によって異なります。
BIO2 をどのように設置するかにかかわらず、以下のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリがないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、BIO2の底面を軽く拭き、異物やほこりを取り除いてください。
d) 絶対に電源を入れたまま、BIO2 を持ち上げたり、配置したり、組み立てたり、分解したりしないでください。
e) 重要! BIO2 と設置面との間にグランドループ (第 3 項) がないか確認してください。
2.1 固定具なし
BIO2 は、設置したい場所に置くだけで、簡単に取り付けることができます。BIO2の質量は、ほとんどのスキャニングや位置決め用途において、十分な保持力を発揮します。
2.2 M3ボア付きネジ穴を利用した取り付け
XYステージには、M3ネジ用の穴が4つあります。BIO2 を固定するときは、取り付け面が平らで、取り付け面と BIO2 の底面がきれいであることが必要です。BIO2 の固定は、最大 0.5Nm のトルクで行ってください。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは BIO2 のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があり ます。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続されており、さらにそのグランドはAC電源コードのグランドに接続されています。したがって、AC電源コードのグランドと取付面の間にブレードを取り付けると、グランドループをショートさせる可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合は、取り付け面を通してアースに戻る大電流源を特定してください。いかなる場合においても、取付面を機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のグランドリターンとして使用しないでください。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。
すぐにシステムの電源を切り、グランドループの発生源を探します。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
4 BIO2 の操作
BIO2には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。クローズドループ運転では、PIEZOCONCEPTコントローラを使用することにより、クリープやヒステリシスの影響を排除し、位置を指令位置で一定に保持することができます。
4.1 クローズドループモードでの動作
BIO2 には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT コントローラを使用して完全な位置決め制御を行いま す。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
a) BIO2 を 2 項で説明したように設置します。
b) PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにする。
c) アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで、指令信号を 0.0V に設定する。
4.2 動作時の注意
BIO2 は高精度の科学機器であるため、操作時の取り扱いには注意が必要です。取り扱いを誤ると、永久的な損傷を受けることがあります。
a) 動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
インストールおよび操作マニュアル LF2
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vにし、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
LF2 には、ユーザーが修理できる部品はありません。修理は、訓練を受けたサービスマンのみが行ってください。
重要
このマニュアルに記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関する技術情報、推奨事項、および事例は、すべて正しいと思われる情報に基づいて作成されたものです。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。本書は、PIEZOCONCEPT 製品の技術情報、推奨事項、使用例などを記載したものです。
1はじめに
LF2 は、優れた分解能と安定性を備えた PZT アクチュエータ式リニアナノポジショ ニングステージです。ステージ中央にある66mX66mmの穴は、透過ビーム、複数のプローブ、または倒立光学系を含むアプリケーションに最適です。LF2 は、大きな移動距離と高い安定性を備えており、最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。LF2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。
1.1 LF2 の開梱
LF2 を開梱する前に、この取扱説明書全体をお読みいただき、特に次の「LF2 の取扱いについて」をご一読ください。LF2 を箱から取り出して、平らな場所に置いてください。梱包の中身を出荷リストと照らし合わせて確認し、不足しているものがあればすぐに PIEZOCONCEPT に連絡してください。
1.2 LF2 の取り扱いについて
LF2 は高精度の科学機器ですので、正しく動作させるために特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、LF2 に永久的な損傷を与える可能性があります。長くお使いいただくために、以下のガイドラインを厳守してください。
a) EDM の溝には絶対に物を入れないでください。EDM溝は、フレクシャーヒンジを形成し、ステージの可動部をステージフレームから分離し、アンプを形成する切り口です。この溝に物を差し込むと、重大な損傷を与える可能性があります。
b) ステージは持ち上げる前に必ずPIEZOCONCEPTコントローラの電源を切ってください。
c) 手や他のもので押してDeepLトランスレーションを動かさないでください。
d) 移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
e) LF2を落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えないでください。
f) ケーブルで吊り上げないでください。
g) LF2 を取り付ける表面は、平らできれいな状態にしてください。また、LF2 の底面にゴミやホコリがないことを確認してから取り付けてください。
h) 液体に浸さないでください。クリーニングが必要な場合は、糸くずの出ない布にイソプロパノールまたはエタノールを含ませ、表面を軽く拭いてください。EDMの溝に液体や糸くずをつけないでください。
i) LF2 は絶対に分解しないでください。
1.3 LF2
LF2 は高性能 Al 合金で製造されている。LF2にはPZTアクチュエータが内蔵されており、ステージを動かすための駆動力を供給する。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは、放電加工によりステージに刻み込まれている。LF2ステージには保守可能な部品はありません。
ステージの側面にはXとYの2つの方向矢印があり、正の電圧がかかったときにステージがどの方向に動くかを示しています。LF2には、DB-9コネクタが2個（各軸に1個ずつ）付属しています。これらのコネクタには、識別のために X, Y のラベルが貼られています。この識別記号は、どのドライバ軸にどのステージを接続するかを示しています。
LF2 は絶対に分解しないでください。
2 設置方法
LF2 は水平に設置する必要があります。LF2 にかかる負荷は最小限にすることをお勧めします。負荷が重くなると、ステージの応答速度が低下し、振動の原因となり、疲労や動作不良の原因となることがあります。
LF2の設置方法には2通りあります。LF2を設置したい場所に置く方法と、取り付け穴を使って設置する方法です。LF2の取り付け方法は、用途や取り外す頻度によって選択します。
LF2 をどのように設置するかに関わらず、以下のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリがないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、LF2 の底面を軽く拭き、ゴミやホコリを取り除いてください。
c) LF2 は必ず下段を持って持ち上げてください。
d) 電源が入ったまま、LF2 を持ち上げたり、配置したり、組み立てたり、分解したりしないでください。
e) 重要! LF2 と設置面との間にグランドループ（セクション3 ）がないことを確認してください。
2.1 固定具なし
LF2 は、設置したい場所に置くだけで、簡単に取り付けることができます。LF2の質量は、ほとんどのスキャンや位置決め用途において、十分な保持力を発揮します。
2.2 M3ボアホールを利用した取り付け
ステージのX部とY部には、106,6mm×106,6mm角のパターンで、M3ネジ用の穴が4つ開いています。LF2 を固定する際は、取り付け面が平らであること、取り付け面と底面が汚れていないことが必要です。
LF2は、X軸（上部）、中間プレート、Y軸（下部）からなる積層型システムです。
1°) まず、LF2のY軸をM3ネジで固定します。Y軸を固定する際の最大トルクは0.5Nmです。
2°) 中間プレートをM2.5ネジでY軸に固定します。
3°) X軸を中間プレートにM3ねじで固定します。X軸の固定は最大0.5Nmのトルクで行ってください。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは LF2 のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があります。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続され、さらにAC電源コードのグランドに接続されます。
PIEZOCONCEPTコントローラの背面パネルには、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを他の機器に接続するためのネジが設けられています。したがって、このスタッドと取付面との間にブレードを取り付けると、グランドループが短絡する可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。どのような場合でも、取り付け面をあらゆる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のアースリターンとして使用することはできません。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ永久振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。
すぐにシステムの電源を切り、グランドループの原因を探ってください。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
4 LF2 の操作
LF2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。クローズドループ運転は、PIEZOCONCEPTコントローラを使用することにより、クリープやヒステリシスの影響を排除し、位置を指令位置で一定に保持することができます。
4.1 クローズドループモードでの動作
LF2 には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており，PIEZOCONCEPT コントローラを使用して完全な位置決め制御を行うことが できます。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
- LF2 を 2 章で説明したように設置します。
- PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにします。
- アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで、コマンド信号を 0.0V に設定する。
を設定します。
- D型9ピンコネクタをPIEZOCONCEPTのコントローラに接続し、ネジ2本を固定する。
ネジ2本で固定します。
- 電源スイッチをONにします。
- これでコマンド電圧によりナノポジショニングステージの位置が制御されます。
電源を入れたまま、9Pinコネクタを絶対に外さないでください。必ず指令電圧をゼロにし、電源を切ってから切断してください。PZTアクチュエータが放電するまで、1分間待ってから切断してください。詳細は「PIEZOCONCEPTコントローラ操作説明書」をご覧ください。
4.2 操作時の注意
LF2 は高精度の科学機器であるため、操作中の取り扱いには注意が必要です。取り扱いを誤ると、故障の原因となります。
a) 操作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
インストールおよび操作マニュアル LFHS2
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vに設定し、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
LFHS2 にはユーザが修理できる部品はありません。修理は専門の知識を持ったサービスマンが行ってください。
重要
本書に記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関するすべての技術情報、推奨事項、および事例は、正しいと思われる情報に基づいています。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。本書は、PIEZOCONCEPT 製品の技術情報、推奨事項、使用例などを記載したものです。
1はじめに
LFHS2 は、優れた分解能と安定性を備えた PZT 駆動のリニアナノポジショニングステージです。ステージ中央にある66mX66mmの穴は、透過ビーム、複数のプローブ、または倒立光学系を含むアプリケーションに最適です。LFHS2 は、大きな移動距離と高い安定性を備えており、最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。LFHS2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。
1.1 LFHS2 の開梱
LFHS2 を開梱する前に、「LFHS2 の取り扱い」に関する次のセクションに特に注意して、この操作マニュアル全体をお読みください。 LFHS2 を箱から取り出し、平らな面に置きます。 パッケージの内容を配送リストと照らし合わせて確認し、不足しているアイテムがある場合はすぐに PIEZOCONCEPT に通知してください。
1.2 LFHS2 の取り扱い
LFHS2 は高精度の科学機器であるため、適切に操作するには特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、LFHS2 に恒久的な損傷を与える可能性があります。長く有用な寿命を確保するために、次のガイドラインに厳密に従う必要があります。
a) EDM の溝には何も挿入しないでください。 EDM の溝は、フレクシャー ヒンジを形成し、ステージの可動部分をステージ フレームから分離し、アンプを形成するカットです。これらの溝に物体を挿入すると、重大な損傷が発生する可能性があります。
b) ステージを持ち上げる前に、必ず PIEZOCONCEPT コントローラーの電源を切ってください。
c) 移動ステージを手や物で押して動かさないでください。 d) 移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
e) LFHS2 を落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えたりしないでください。
f) ケーブルを持って持ち上げないでください。
g) LFHS2 が取り付けられる表面は、平らできれいでなければなりません。同様に、LFHS2 の底面には、取り付ける前に粒子やほこりがないようにしてください。
h) 液体に浸さないでください。 LFHS2 をクリーニングする必要がある場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで少し湿らせ、表面を軽く拭きます。 EDM の溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
i) LFHS2 を分解しないでください。内部には修理可能な部品はありません。
1.3 LFHS2
LFHS2 は、高性能 Al 合金から製造されています。 PZT アクチュエータは LFHS2 内にプリロードされており、ステージ移動の駆動力を供給します。 ガイド機構を構成するフレクシャーヒンジは、放電加工（EDM）を使用してステージに切り込まれます。 LFHS2 ステージには修理可能な部品はありません。
このステージの側面には、X と Y の 2 つの方向矢印があります。これらの矢印は、正の電圧が印加されたときにステージが移動する方向を示しています。 LFHS2 には、モーションの各軸に 1 つずつ、合計 2 つの DB-9 コネクタが付属しています。 これらのコネクタには、識別のために X、Y のラベルが付けられています。 この ID は、特定のステージを接続する必要があるドライバー軸を示します。
LFHS2 を分解しないでください。内部には修理可能な部品はありません。
2 設置方法
LFHS2 は水平に設置します。LFHS2 にかかる荷重は最小限にすることをお勧めします。負荷が重くなると、ステージの応答速度が低下し、振動が発生したり、疲労や動作不良の原因とな ることがあります。
LFHS2 の設置方法には、2 通りがあります。LFHS2 を設置したい場所に置く方法と、取り付け穴を利用する方法があります。LFHS2 の取り付け方法は、用途や取り外す頻度によって選択します。
LFHS2 の取り付け方法にかかわらず、次のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリのないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、LFHS2 の底面を軽く拭き取り、ゴミやホコリを取り除いてください。
c) LFHS2 は必ず下段を持って持ち上げてください。
d) 電源が入ったまま、LFHS2 を持ち上げたり、配置したり、組み立てたり、分解したりしない でください。
e) 重要! LFHS2 と設置面との間にグランドループ（第 3 項）がないか確認してください。
2.1 固定金具不要
LFHS2 は、設置したい場所に置くだけで、簡単に取り付けることができます。LFHS2 の質量は、ほとんどのスキャニングや位置決めの用途において、十分な保持力を発揮します。
2.2 M3ボアホールによる取り付け
ステージの X 部と Y 部には、M3 ネジ用の穴が 4 つ開いています。LFHS2 を固定するときは、取り付け面が平らで、取り付け面や底面が汚れていないことが必要です。
LFHS2 は、X 軸（上部）、中間プレート、Y 軸（下部）から構成される積層型システムです。
1°) まず、M3 ネジで LFHS2 の Y 軸を固定します。Y 軸の固定は最大 0.5Nm のトルクで行ってください。
2°) 中間プレートをM2.5ネジでY軸に固定します。
3°) X軸を中間プレートにM3ねじで固定します。X軸の固定には最大0.5Nmのトルクを使用します。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは LFHS2 のノイズ源となり、場合によってはピエゾアクチュエータに永久的な損傷を与えるほど深刻な振動を引き起こす可能性があります。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続され、さらにAC電源コードのグランドに接続されます。
PIEZOCONCEPTコントローラの背面パネルには、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを他の機器に接続するためのネジが設けられています。したがって、このスタッドと取付面との間にブレードを取り付けると、グランドループが短絡する可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。どのような場合でも、取り付け面をあらゆる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のアースリターンとして使用することはできません。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ永久振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。
すぐにシステムの電源を切り、グランドループの原因を探ってください。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
4 LFHS2 の操作
LFHS2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。クローズドループ運転は、PIEZOCONCEPTコントローラを使用することにより、クリープやヒステリシスの影響を排除し、位置を指令位置で一定に保持することができます。
4.1 クローズドループモードでの動作
LFHS2 には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており、PIEZOCONCEPT コントローラを使用して完全な位置決め制御を行 います。クローズドループモードで動作させる場合は、以下の手順で行います。
- セクション2 で説明したように、LFHS2 を設置します。
- PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにします。
- アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで、指令信号を 0.0V に設定する。
を設定します。
- D型9ピンコネクタをPIEZOCONCEPTのコントローラに接続し、ネジ2本を固定します。
ネジ2本で固定します。
- 電源スイッチをONにします。
- これでコマンド電圧によりナノポジショニングステージの位置が制御されます。
電源を入れたまま、9Pinコネクタを絶対に外さないでください。必ず指令電圧をゼロにし、電源を切ってから切断してください。PZTアクチュエータが放電するまで、1分間待ってから切断してください。詳細は「PIEZOCONCEPTコントローラ操作説明書」をご覧ください。
4.2 操作時の注意
LFHS2 は高精度の科学機器であるため、操作時には十分な注意を払う必要があります。取り扱いを誤ると、故障の原因となることがあります。
a) 操作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確 認してください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
インストレーション＆操作マニュアル LT2
重要安全情報
高電圧ドライバは、危険な電圧や電流を発生させることがあります。ドライバを操作するとき、およびリニアアクチュエータを取り扱うときは、注意してください。圧電アクチュエータは大きな静電容量を持ち、危険な量の電気エネルギーを長期間にわたって蓄えることができます。また、負荷や温度変化などのさまざまな条件により、圧電アクチュエータに電荷が蓄積されることがあります。
PIEZOCONCEPTコントローラからDB-9コネクタを取り外す際は、まずコマンド電圧を0.0Vにし、次にPIEZOCONCEPTコントローラのAC電源をOFFにし、最後に1分待ってから切断してください。
LT2には、ユーザーによる修理が可能な部品はありません。修理は、訓練を受けたサービススタッフのみが行ってください。
重要
このマニュアルに記載されている PIEZOCONCEPT 製品に関するすべての技術情報、推奨事項、および事例は、正しいと思われる情報に基づいて作成されています。購入者または使用者は、使用する前に各製品の適合性を判断する必要があります。本書は、PIEZOCONCEPT 製品の技術情報、推奨事項、使用例などを記載したものです。
1 はじめに
LT2は、優れた分解能と安定性を備えたPZT作動型リニアナノポジショニングステージです。ステージ中央にある66mX66mmの穴は、透過ビーム、複数のプローブ、または倒立光学系を含むアプリケーションに最適です。LT2 は、大きな移動距離と高い安定性を備えており、最も困難な顕微鏡検査や位置決め用途に最適です。LT2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。
1.1 LT2 の開梱
LT2 を開梱する前に、この取扱説明書全体を読み、特に次の「LT2 の取扱い」のセクションに注意してください。LT2 を箱から取り出し、平らな面に置いてください。梱包の中身を出荷リストと照合し、不足しているものがあればすぐに PIEZOCONCEPT に連絡してください。
1.2 LT2 の取り扱い
LT2 は高精度の科学機器であるため、適切に操作するには特別な取り扱いが必要です。取り扱いを誤ると、LT2 に恒久的な損傷を与える可能性があります。長く有用な寿命を確保するために、次のガイドラインに厳密に従う必要があります。
• EDM の溝には何も挿入しないでください。 EDM の溝は、フレクシャー ヒンジを形成し、ステージの可動部分をステージ フレームから分離し、アンプを形成するカットです。これらの溝に物体を挿入すると、重大な損傷が発生する可能性があります。
• ステージを持ち上げる前に、必ず PIEZOCONCEPT コントローラーの電源を切ってください。
• 移動ステージを手や物で押して動かさないでください。
• 移動ステージとフレームの間にトルクがかからないようにしてください。
• LT2 を落としたり、乱暴に扱ったり、物理的な衝撃を与えたりしないでください。
• ケーブルを持って持ち上げないでください。
• LT2 を取り付ける面は、平らで汚れていない必要があります。同様に、LT2 の底面には、取り付ける前に粒子やほこりがないようにしてください。
• 液体に浸さないでください。 LT2 をクリーニングする必要がある場合は、糸くずの出ない布をイソプロパノールまたはエタノールで少し湿らせ、表面を軽く拭きます。 EDM の溝に液体や糸くずが入らないようにしてください。
• LT2 を分解しないでください。内部には修理可能な部品はありません。
1.3 LT2
LT2 は，高性能 Al 合金で製造されている。LT2にはPZTアクチュエータが内蔵されており，ステージを動かすための駆動力を供給する。ガイド機構であるフレクシャーヒンジは、放電加工によりステージに刻み込まれている。また、X軸とY軸のPZTアクチュエーターの可動域を広げるためのアンプも放電加工で一体成形している。PZTアクチュエーターは、ステージの移動方向に対して垂直な方向で、このアンプ内に配置されています。LT2ステージには、修理可能な部品はありません。
このステージの側面には、2つの方向矢印があります。これらの矢印は、正電圧を印加したときにステージがどの方向に動くかを示しています。LT2には、2つのDB-9コネクタ（各動作軸に1つずつ）が付属しています。これらのコネクタには，識別のために CHANNEL 1 (X), CHANNEL 2 (Y) というラベルが付けられています。この識別記号は、どのドライバ軸にどのステージを接続するかを示しています。
LT2 は絶対に分解しないでください。
2 設置方法
LT2 は水平に設置する必要があります。LT2 にかかる負荷は最小限にすることをお勧めします。負荷が大きいと、ステージの応答速度が低下し、振動の原因となり、疲労や動作不良の原因となることがあります。
LT2の設置方法には2通りあります。LT2をご希望の場所に設置する方法と、取り付け穴を使用する方法です。LT2 をどのように設置するかは、特定のアプリケーションと LT2 を取り外す頻度に依存します。
LT2 をどのように設置するかに関わらず、以下のことを行ってください。
a) 取り付け面がきれいで、平らで、バリがないことを確認します。
b) 糸くずの出ない布で、LT2 の底面を軽く拭き取り、粒子やほこりを取り除きます。
d) 電源が入った状態で、LT2 を持ち上げたり、配置したり、組み立てたり、分解したりしないでください。
e) 重要! LT2 と設置面の間にグランドループ（セクション 3）がないことを確認してください。
2.1 固定具なし
LT2 は、希望する場所に置くだけで取り付けが可能です。LT2の質量は、ほとんどのスキャンや位置決め用途において十分なものです。
2.2 M3ボアホールを利用した取り付け
XYステージには、M3ネジ用の穴が4つあります。LT2を固定する際は、取り付け面が平らで、取り付け面とLT2の底面が汚れていないことが必要です。LT2 を固定するときは、最大 0.5 Nm のトルクを使用してください。
3 グランドループ
ナノポジショニングシステムにとって最も危険なのは、ステージと設置面間のグランドループです。グランドループは LT2 のノイズ源となり、場合によっては圧電素子に永久的な損傷を与えるほど激しい振動が発生する可能性があります。
3.1 グランドループの防止と特定
グランドループは電圧計で検出できる場合があり、通常はデュアルチャネルオシロスコープの差動モードを使用することで 検出することができる。
グランドループの防止には，2つの方法があります。最も効果的で簡単な方法は、ステージと取り付け面を絶縁することです（例えば、ステージと取り付け面の間にマイラーや紙を挟むなど）。2つ目の方法は、PIEZOCONCEPTコントローラのアースを取り付け面に接続する方法です。ステージは直接PIEZOCONCEPTコントローラのグランドに接続され、さらにAC電源コードのグランドに接続されます。PIEZOCONCEPTコントローラの背面パネルには、PIEZOCONCEPTコントローラのグランドを他の機器に接続するためのスタッドが設けられています。したがって、このスタッドと取り付け面の間にモールを取り付けると、グランドループをショートさせる可能性があります。まれに有効な方法でない場合があります。このような場合、取り付け面を通してグランドに戻る大電流源を特定してください。どのような場合でも、取り付け面をあらゆる機器（真空ポンプ、コンピュータなど）のグランドリターンとして使用することはできません。
電源を入れた後、ナノポジショニングステージに予期せぬ振動が発生した場合、グランドループが継続して存在する可能性があります。すぐにシステムの電源を切り、グランドループの発生源を探します。問題が続く場合は、ピエゾコンセプトに連絡して技術的な支援を求めてください。
4 LT2 の操作
LT2 には、クローズドループ動作のための位置検出器が付属しています。PIEZOCONCEPTコントローラを使用したクローズドループ動作では、クリープやヒステリシスの影響が排除され、位置は指令位置で一定に保持されます。
4.1 クローズドループモードでの動作
LT2 には D タイプの 9 ピンコネクタが付属しており，PIEZOCONCEPT コントローラを使用して完全な位置決め制御を行うことができます．クローズドループモードで動作させるためには、以下の手順で行います。
a) 2 章で説明したように LT2 を設置します。
b) PIEZOCONCEPTコントローラの電源をOFFにします。
c) アナログインターフェースまたはデジタルインターフェースで、指令信号を 0.0V に設定する。
4.2 操作時の注意
LT2 は高精度の科学機器であるため、操作時の取り扱いには注意が必要です。これを怠ると、永久的な損傷を受ける可能性があります。
a) 動作中は、移動ステージや移動ステージに固定されているものに物理的な制約がないことを確認し てください。
b) PZTには，150V以上，-15V以下の電圧を絶対にかけないでください。
c) 作業環境を清浄に保ち，放電加工溝にゴミやその他の物質が溜まるのを防いでください。
