応用 レンズとアセンブリのテスト PHASICS
PHASICS
レンズとアセンブリのテスト
シングルショットMTFおよびWFE測定の簡単なセットアップ
Phasicsの特許取得済みのQuadri-WaveLateral Shearing Interferometry（QWLSI）波面センシング技術の独自の機能により、リレー光学系を必要とせずに高開口数ビームの測定が可能になります。この独自の利点により、測定のセットアップが簡単になります。
シングルショット、両方の波面誤差（WFE）と変調伝達関数（MTF）を測定します。対物レンズ、サブアセンブリ、および最終アセンブリの認定は完全で、実装が簡単です。
実際、SID4波面センサーは、焦点の数ミリメートル後に発散ビームに配置されるだけです。測定が完了すると、波面測定を理論上のZemaxシミュレーションと比較できます。PhasicsソフトウェアモジュールDesignProに感謝します。
一部のテストプロトコルでは、SID4波面センサーとも互換性のあるダブルパステスト構成が必要です。
▽シングルパス測定のセットアップ
Phasicsは、特許技術のおかげで独自のレンズ測定原理を提供します。波面はリレーレンズなしで直接測定されます。SID4波面センサーは発散ビームに直接配置されます。
次に、計算では光伝搬理論を使用して、波面収差とMTFの両方を提供します。
MTFは、ターゲットを使用せずに任意の周波数で取得されます。
▽軸上のダブルパス測定設定
ダブルパステスト構成を使用したより古典的なアプローチにもアクセスできますが、より多くの位置合わせとより多くのアクセサリ（マウント、参照面など）が必要です。
▽ダブルパス測定セットアップ軸外
軸外ダブルパステスト構成。
測定出力
波面とデザインの比較 軸上および軸外の任意の周波数でのMTF 光学収差
利点
独自のシングルパスセットアップ
高NA：最大0.8
リレー光学系、ヌルレンズなし
簡素化された位置合わせプロセス
独自の光学テストセットアップ
波面測定
Zemaxデザインとの比較
MTFとPSF
信頼性の高い測定
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