PHASICS
表面形状測定技術
シングルショットの表面特性評価 反射のセットアップに組み込むと、Phasics SID4 波面センサーは表面の特性評価を行うことができます。カレオソフトウェアは、レンズ、ミラー、モールドなどの凸面または凹面の3D表面マップと曲率半径を出力します。この測定値から、表面の凹凸、粗さ、うねりなど、ISO 10110規格で定義されたすべての表面品質パラメータが算出されます。また、あらゆる方向の表面形状を抽出することができ、結果を理論的な表面と比較することができます。 平面・低速面測定セットアップ 表面計測を行うために、ビームを拡張し、対象領域の大きさに合わせます。テストする表面は、SID4波面センサーに結像されます。まず、基準となる平面でリファレンス測定を行い、テストサンプルをアライメントして測定します。測定された波面は、テスト表面のトポグラフィーの2倍となります。 凹面測定セットアップ 凹面測定では、被測定面を適切な開口数で照明するために、光学系にコンデンサーが追加されます。 凸面測定セットアップ コンデンサーを使った同様のアプローチで、凸面を修飾する。 測定例 非球面・形状誤差 平面ガラス表面形状 デフォーマブルミラーの影響関数 利点 完全かつ正確 瞬間的な完全3D形状 高いダイナミックレンジ 高精細マップ 使いやすさ、汎用性 CHGやヌルレンズなし ステッチング・スキャンなし 非接触測定 コモンパス干渉計 基準アームがない 振動の影響を受けにくい アライメントが容易
