応用 表面計測 PHASICS
PHASICS
表面計測 表面トポグラフィー測定
反射セットアップに結合すると、PhasicsSID4波面センサーは表面の特性評価を実行できます。Kaleoソフトウェアは、3Dサーフェスマップと、レンズ、ミラー、金型などの凸面または凹面の曲率半径を出力します。表面の凹凸、粗さ、うねりなど、ISO 10110規格で定義されているすべての表面品質パラメータは、この測定値から計算されます。表面プロファイルは任意の方向に抽出することもでき、結果を理論上の表面と比較することができます。
▽ フラット＆スローサーフェス測定セットアップ
表面測定を行うために、ビームを拡大して対象領域のサイズに調整します。テスト対象の表面は、SID4波面センサーに画像化されます。まず、リファレンスフラットを使用してリファレンス測定を実行し、テストサンプルを位置合わせして測定します。測定された波面は、テスト表面のトポグラフィの2倍です。
▽凹面測定設定
凹面測定の場合、適切な開口数でテスト対象の表面を照らすために、コンデンサーが光学セットアップに追加されます。
▽凸面測定設定
コンデンサを使用した同じアプローチを使用して、凸面を認定します。
測定例
非球面および形状エラー 板ガラス表面の地形 変形可能なミラー影響関数
利点
完全で正確
瞬時の完全な3D形状
ハイダイナミックレンジ
高解像度マップ
使いやすさと汎用性
CHGまたはヌルレンズなし
ステッチ/スキャンなし
非接触測定
共通光路干渉計
参照アームなし
振動に鈍感
簡単な位置合わせ
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