PHASICS
導波路とフォトニックデバイスにおける屈折率のシングルショットマッピング 光導波路は、その低光損失性から、フォトニックデバイスやシステムで多く使用されています。光導波路の屈折率分布は、挿入損失と伝搬モードを決定する重要なパラメータです。Phasicsは、定量的位相イメージング（QPI）技術に基づき、屈折率の変化を測定するための高精度な測定装置を提供しています。正確な屈折率測定は、製造されたフォトニックデバイスの開発、最適化、品質モニタリングのために必要です。非破壊測定法であるQPIは、導波路の正確な屈折率プロファイルを得ることができます。SID4-Imagingシステムは、光ファイバーやレーザーで描かれた導波路の測定に適応しています。 光学顕微鏡への実装 従来の明視野顕微鏡にPhasicsの定量位相イメージング（QPI）カメラを搭載しました。顕微鏡の改造は必要ありません。 Phasicsのエキスパートソフトは、以下のように簡単に屈折率変化マップに変換できる光路差（OPD）マップを出力します。OPD = (n2 - n1) x d, n2 と n1 は周囲の物質と導波路の屈折率、d は屈折率変化領域の厚さである。 導波管測定セットアップ 導波路イメージングは、XY面内または直交面内の2種類の構成で行うことができます。Phasicsの定量位相カメラは、導波路で発生する光路差（Optical Path Difference: OPD）を測定します。導波路の機械的な大きさがわかっていれば、簡単に屈折率の値を取り出すことができます。 OPD (nm) = (導波路n - サスブレートn) x 機械的厚み (nm) 導波管測定セットアップ (直交) この表現では、導波管を直交配置でスライスして測定しています。 測定例 光路差（Optical Path Difference：OPD）マップ 屈折率マップの推移 導波管設計の検証 利点 高い機能性 回折限界の空間分解能 高い再現性 高感度 パワフルなアプローチ 非破壊 2Dマッピング リアルタイム計算 使いやすさを追求 あらゆる顕微鏡に対応 コンパクト プラグアンドプレイ
