SID4-UV-HR 190nmまで感度の高いUV波面センサー PHASICS
PHASICS
SID4-UV-HR
スペクトル範囲 UV（190-400 nm）
光学計測 レーザー測定Phasics の特許技術に基づく SID4 UV HR 波面センサーは、190 nm から 400 nm の紫外線スペクトルにおいて、比類のない高解像度（355 x 280 測定ポイント）と非常に高い感度（1 nm RMS）の両方を提供します。その結果、SID4 UV HR は光学部品の特性評価（リソグラフィー、半導体など）や表面検査（レンズ、ウェハーなど）に完璧に適応しています。
主な機能
190nmまでの感度
高感度– 1 nm RMS
非常に高い解像度（355 x 280サンプリング）
アプリケーション
•レーザーテスト、補償光学、およびプラズマ診断•光学計測および光学システムの調整•
仕様
SID4-UV-HR
* SID4ソフトウェアを使用
以下のPDFはご請求ください。
パンフレット - レーザーテストおよび補償光学ソリューション
パンフレット - 光学計測ソリューション
SID4-UV-HR 波面センサー - 仕様書
