SID4-UV　高解像度のUV波面センサー　PHASICS｜取扱製品一覧

PRODUCTSSID4-UV　高解像度のUV波面センサー　PHASICS

SID4-UV
スペクトル範囲 UV（190-400 nm）

光学計測　レーザー測定

SID4 UVは、250nmという低波長域で高分解能の波面計測を実現し、紫外線光学検査、紫外線レーザー特性評価（リソグラフィーや半導体アプリケーションで使用）、レンズやウェーハの表面検査に最適な製品です。

主な機能
超高分解能 - 250 × 250 サンプリング
高感度 - 2 nm RMS
UV波面計測のための手頃なソリューション

アプリケーション

•レーザ計測、補償光学、プラズマ診断・光学計測、光学系アライメント・光学系アライメント•

仕様

Wavelength range	250 - 400 nm
Aperture dimension	7.4 x 7.4 mm²
Spatial resolution	29.6 µm
Phase and Intensity sampling	250 x 250
Resolution (Phase)	2 nm RMS
Accuracy (Absolute)	10 nm RMS
Acquisition rate	> 30 fps
Real-time processing frequency*	2 fps (full resolution)*
Interface	Giga Ethernet
Dimensions (WxHxL)	45 x 30 x 100 mm³
Weight	~ 250g

* SID4ソフトウェアを使用

以下のPDF資料はご請求ください。
パンフレット - レーザーテストおよび補償光学ソリューション
パンフレット - 光学計測ソリューション
パンフレット - SID4-UV 波面センサー - 仕様書